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新型低维结构冷阴极材料的研制及其电子发射机理研究 专业： 凝聚态物理 博士生： 陈军 导师： 许宁生教授 摘要 新型低维结构冷阴极材料在场发射平板显示器等真空微电子器件中有广泛 的应用前景，因而受到人们的重视。 本博士论文首先综述了场致电子发射理论和实验研究方法，并回顾了新型低 维结构冷阴极的研究进展。论文进而重点介绍我们在薄膜和准一维纳米材料这两 类新型低维结构冷阴极材料的发射特性、发射机理和应用方面的研究结果。本论 文的主要工作可概述如下。 1．建立了一套可以综合测试场致电子发射特性的测试仪。它集成了透明阳 极、场致电子发射显微镜、减速型场发射电子能谱仪和开尔文探针，可以测量场 致电子发射的电流一电场特性、发射址分布、炀发射微观像、场发射电子能谱和 阴极材料的功函数等。 2．在薄膜冷阴极方面，采用磁过滤直流溅射等离子体沉积方法制各了不同 掺氮浓度的类金刚石薄膜(厚度约70 nm)。用场发射综合测试仪测试了它们的