双重跟踪超声电源的研制.pdfVIP

维普资讯 fez—f雷 姆 骰蹴 ， 18 s — Q 双重跟踪超声电源的研制 ＼／ 戛圭剧 盛垂毒 刘纯荣 牛 勇 A， 陕西师范大学声学研究所西安删 ，J日前一国内外功率超声应用技术中，不仅要求超声功率源具有宽的输出功率范围，而且对输出 功率的稳定性 、可预置性提出严格要求 ．为了适应超声雕刻工艺研究的需要 ，我们研究了一种输出 功率从0～500W 任意可变 ．且有频率和输出功率双重跟踪的超声功率电源。工作的频率范围是 10 ～ 50kHz，输 出负载为压 电式换能器 。 1 双重跟踪超声功率 电源工作原理 到加在换能器两端 的 电压 ．和蔼过换能器 电流瞬 超声功率源的框 图如图 1所示．输 出功率 的调 时值并转换成与之对应的 电压 ，分别加在过零检 节是通过改变超声 电源的直流供 电电压来实现 的， 测器一整形 为方皱 。过零检测器之一接成 同相辅入 大功率 电源变压器既擎重，且成本高 ，为减轻超声功 式 ．另一十接成反相输入式，各 自经徽分和 限幅之 率 电源的总体重量 ．在功率源的供 电系统 中我们采 后一取其上升沿形成尖脉冲送到双稳态触发器 ．形成 用 220V交流电直接供电．双 向可控硅调压。 脉宽与 r、：间相位差成 比例的矩形脉冲，滤波后 监相器输出的直流 电压正 比于电流、电压信号 间韵 相位差 。众所周知 ．一般情况下 ．换能器是抗性负载 ， 当换能器处于谐振状态时，负载呈纯阻状态 ，输出功 率最大。这时蓖过换能器的 电流和加在换能器两端 的电压信号之间的相位差是零 ，当激励超声功率源 的频率低于换能器的谐振频率 时，换能器阻抗呈容 性 ．这时出现电流相位超前于 电压相位 ，监相器输出 为正值。否则呈感性 ，电流相位滞后于电压相位 ，监 相器输 出电压为负值 ，用与电流 、电压之间相位差成 比倒 的监相器输出电压控制压控振荡器，使其振荡 图 1 超 声功率 电碾l框图 频率随监相器输出电压而变 。从而使压控振 荡器的 可变频率振荡器是一种输出工作额率在 l0～ 频率随电流 电压间相位差不断地调整 ，使压控振荡 50kHz范匿的压控振荡 器 ，监相器 电路 检测 出加在 器的工作频率跟踪变化 了的换能器的工作颤率 ．谜 换能器上的电流、电压的相位差 ，得到与其相位差成 到频率跟踪的 目的 比倒的输出误差电压，改变