AlN薄膜取向程度与实验参数间的函数关系.pdfVIP

维普资讯 第 l6卷 第 6期 无 机 材 料 学 报 Vol 16．NO 6 2001年 11月 JournalofInorganicM aterials Nov ．2001 文章编号：i000—324X(2001)06—1161—08 AIN薄膜取 向程度与实验参数 间的函数关系 许小红 ，张富强 ，武海顺 ，张聪杰 ，李佐宜 。 (1．山西师 范大学化 学系，临汾041004；2．华 中科技大学电子科 学与技术 糸，武 汉 4300741 摘 要：反应溅射制备 AIN薄膜时，薄膜的择优取向与众多的实验参数有关．建立晶面择优 取 向程度与溅射气压 、靶基距 靶功率等重要实验参数之 间的函数关系，避免丁研究每一项参 数对薄膜择优取向影响所需的实验次数的繁多．得到制备择优取向程度最佳薄膜的实验参数． 同时，通过用该函数关系式计算得到结果与实验结果 比较，发现两者具有很好的一致性 ．这一 系列函