LiCl／SiO2—Al2O3薄膜的纳米结构和湿敏特性.pdfVIP

维普资讯 第 l4卷 第 6期 无 机 材 料 学 报 Vo1．14，No 6 ]999年 l2月 JournalofInorganicMaterials Dec．．1999 文章编号：CN31—1363(1999)06—0995·05 计 性 ⑦ LiC1S／i02-A1203薄膜的纳米结构和湿敏特 ／ 一 翟继卫 ， 张 良莹 1,2， 姚 熹 ，。 (1．西安交通大学 电子材料研究所 西安 710049；2．同济大学功能材料研究所，上 海 2000921