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SnO2气体传感器的复阻抗谱研究.pdfVIP

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  • 2015-08-22 发布于未知
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SnO2气体传感器的复阻抗谱研究.pdf

    无机材料学报

    维普资讯 第 u 卷 第 1期 无 机 材 料 学 报 VoL 11 No 1 M arch 1996 1996年 3月 SnO2气体传感器 的复阻抗谱研 究 0 田敬 民 了 f西安理 工 大 学 微 电子 技 术 教 研 室 西安 71o048) 摘 要 H 本文研究了静电喷雾高温分解工艺制备的Sn02薄膜气体传感器在不同温度与气氛 条件下 的复阻抗谱，根据等效电路模型与复阻抗谱的变化，分析了电导调制机构 与气敏 机理 ．基于气体在 晶界与表面吸附效应提 出了气件敏感 的物理化学模型． 关 键 词 二氧化锡 ，静 电喷雾高温分解工艺，复阻抗谱

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