固着磨料双面研磨压力的优化控制研究.pdfVIP

维普资讯 第 29卷第2期 长春理工大学学报 VO．【29 NO．2 2006年 6月 JournalofChangchunUniversityofScienceandTechnology Jun．2006 固着磨料双面研磨压力的优化控制研究 卢杰 ，陈江 ，张心明 (1．重庆职业技术学院，重庆 400712；2．黑龙江商业大学，哈尔滨 150028；3．长春理工大学，长春 130022) 摘 要：针对 固着磨料研磨的特点，通过所建立的数学模型，对 固着磨料双面研磨过程中压力的变化进行研究， 并对研磨过程的压力实施进行优化，从而找到在研磨过程中最佳的施压方法，以达到对硅晶片、玻璃硬盘基片 等进行高速精密和超精密加工的 目的。 关键词：双面研磨 ；振动；压力控制；固着磨料 中图分类号：TH16 文献标识码：A 文章编号：1672—9870 (2006)02—0034—03 SolidAbrasiveM aterialDouble-·-SidesLapping PressureOptimizingControl LUJie，CHENJiang，ZHANGXinming (1．ChongqingUocationalTechnicalCollege，Chongqing 400712；2．HarbinUniversityofcommerce，Harbin 150028； 3．ChangchunUniversityofScienceandTechnology，Changchun 130022) Abstract：the unliftingpressureprocessin solid abrasive double——sides lapping hasbeen studied throughthemathmaticsmodelestablishedinthispaper．Thentheoptimalmethodsforthelappingpress— ingwasfound，theobjectiveofultraprecisionmachiningandprecisionmachiningofsiliconwaferand glassharddisksubstratecanbeachieved． Keywords：double—sideslapping；vibration；pressurecontrol；solidabrasive 在工件的研磨加工过程中，研磨压力对于粗研 对于固着磨料研磨，由于磨具上的磨料分布不 时的研磨质量、研磨去除速度有很大的影响，提高 连续，在研磨过程中高速运动的磨料丸片与工件表 研磨压力可以增大磨具与工件间的真实接触面积， 面凸起轮廓产生碰撞冲击。特别是在启动时，由于 同时参与研磨的磨粒数量增多，每个磨粒平均切削 工件表面粗糙度大，容易发生碰撞冲击而撞落丸 厚度减小，工件 已加工表面粗糙度值小…。所以 片、甩脱工件等事故。所以在研磨刚开始的时候， 增大研磨压力可以减小已加工表面粗糙度值。 应降低作用到工件上的压力，减少磨具与工件之间 下面探讨增加研磨压力的过程。 的接触面积，对工件表面凸起轮廓进行研磨加工， 去除工件表面的凸起部分。 1 压力上升过程的优化 因此，在研磨过程中，为改善研磨条件，我们 研磨加工是在一定的压力下进行的，研磨压力 要研究压力上升过程对研磨过程的影响。 保证磨具与工件间的真实接触面积和一定的加工效 传统的研磨工艺压力调节为高低压调节，加压 率。但是在对工件加压的过程中，有可能出现