热丝CVD法制备金刚石管.pdfVIP

维普资讯 第 3O卷第 1期 武 汉 工 程 大 学 学 报 Vol_3O No．1 2008年 O1月 J． W uhan Inst． Tech． Jan． 2008 文 章 编 口 法制备金刚石管 谢 鹏，汪建华 ，王传新，熊 军 (武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室，武汉 430074) 摘 要：以钨丝作为基体 ，用氢气和丙酮作为反应气体 ，在热丝化学气相沉积装置 中制备 出了金刚石管 ，其生 一热 长速度达到了4ffm／h．扫描 电镜和激光拉曼光谱 的测试结果表明制备出的金刚石管质量较好． 。 关键词：金 刚石薄膜 ；金 刚石管 ；热丝化学气相沉积法 一丝 中图分类号 ：TB43 文献标识码 ：A C V 钨丝表面预处理：钨丝 的表 面 由于残 留有在 D 0 引 言 加工过程 中使用 的黑色的润滑剂，会污染真空腔 CVD金刚石具有硬度 高，耐磨损 ，导热性好 ， 体 、妨碍金刚石形核，因此需要清洗掉．清洗后将 摩擦系数小 ，光学透过性好 以及化学惰 性高等一 钨丝放 到 金 刚石 微粉 溶液 中用超 声 波处 理 系列优异性能 ，作为一种应用前景极其广阔的功 10min，此方法有 利于产生金 刚石形 核位置并在 能材 料 ，在许 多应 用 领 域 有 着 巨大 的应 用 潜 基体表面留下足够多 的金刚石籽 晶，在随后的形 力E1,8。化学气相沉积法 (CVD)制备金刚石薄膜使 核过程 中，极大地增加了金刚石 的形核密度。 金刚石 的应用有了很大的发展，但是仍然需要 克 金刚石薄膜生长条件为 ：热丝电压 2OV；热丝 服许多技术 问题 ，例如金刚石的加工l3．因而根据 电流 6OA；沉积气压 3。5kPa；热丝与钨丝 的表面 应用的要求 ，利用不 同的工艺来生产不 同结构 和 距离 8ITtITt；钨 丝表 面温 度约 800℃ ；生 长 时间 外形的金刚石产品很引人注 目． 6h． 目前，通过化学气相沉积 的方法 获得不 同形 将金刚石生长后 的样品置于过氧化氢和氢氧 状的金刚石 已成为人们关注的焦点 ，特别是 “自支 化钠溶液中，并水 浴加 热，保持溶液温度 6O℃左 撑”的金刚石管在高压喷头 ，电子场 发射装置，波 右 ，本实验腐蚀钨丝的时间约为 20h． 导，磨牙工具和分子过滤等方面具有 良好 的应用 采用 日本 电子 JOSI一55OlLV 扫描 电子显微 前景l3]．本文采用 热丝 CVD法在钨丝上沉积金 镜观测表 面形 貌 和英 国 Renishaw 公 司生 产 的 刚石，然后把钨丝芯完全溶解掉 ，从而制备 出 “自 RM1000型显微激光拉曼光谱仪分析薄膜的结构． 支撑”的金刚石管． 2 结果与分析 1 实 验 图 1所示是制备的金刚石管 的扫描 电镜 图。 本实验采用热丝化学气相沉积装置 5¨]，在直 图1(a)为金刚石管的表面形貌 ，表面平整光滑 ；图 径为 0．5ITtITt长度为 30ITtITt的钨丝上制备金刚石 1(b)为采用过氧化氢和氢氧化钠溶液溶解掉钨丝 薄膜 ，工作物质为氢气和丙酮。热丝采用两根直径 后的金刚石管的端面形貌 ，金刚石 管呈 “自支撑 ”