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基于有色赋时Petri网的半导体生产线建模技术的研究.pdf

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系统仿真学报@ …19 ml。杠帆】 E哪】I 型:!!』! :坠!!型垡!!!!!竺墅竺!!!!!!! !些竺! 基于有色赋时Pet“网的半导体生产线建模技术研究 曾政才,乔非 I__;I女J#fiMsE10 h2【w目2l 摘要在_置,。7样丰导体制造过程的基础i为7有敢分析半导体生产线调度与垃氧性能提f T膏岂喊时Pctn网曲丰导体生产线建模方法璃槿型棒据生产巍肿軎在主要谓度子同是置鼻之 间的相互关罩.将牛导体生产找划分为般井控制棋央,蚺鞋调度棋舆和工件再度模班。遣样可d 有效降低模型的蔓杂性和提高模型的可重用性.建in一十拥有3mi作中r。6台&备的半导* 生产馥Pe㈣捌槿重年对模型进行分析最£指出7下一于的I作日幸} 关键词丰导体生产践:有色哦时Peln目.建攫.调度 s1一()2l(1-04 31xf2(目7j 中圈分类号·TP278 文献标识码^ 文章稿号:l∞4.7 ResearchonColoredTimedPetriNetBased of Mode珏ng1kchnoIogy SemiconductorWaferFabrication cAo FP| ZhcH|ccn0lAo fClMSHemFhfcnln H日:f}】】n目 h“¨Un】’c…ySl岫gnⅢ2n Abnnd:【n州erlocHccfIvelv and bbncanon…lored analv,c“conLmJschcdulI雌sⅡak#le‘f。r栅conduc【(,rwakr umed&m ba”donLk jtd(crPN)mtdelj雎tccllnologyo‘)mpmhenm…my!B【“m……ndu。mfInanuf们r…g Jc^耐ⅣfR^* ahm Ⅲ口出kⅢdb Then nc【mode} r”hPJM,fHgⅢn出kⅢ们m舶件rn”pf“Ifv刊删pⅢ…““,mf脚出J 11…Im¨胛…血cenL…nds…觚h—Is m㈣Iv51KmrIh…odel“ 哪…¨n£…c㈣t p…I卅柚d Atmeendche Dmvl出d aJmof㈣s∞pwo^1spu【_如rwⅡd words…conduct…akr fab删10n,colomd Koy

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