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探针纳米加工技术的现状与发展趋势.pdfVIP

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  • 2015-08-27 发布于重庆
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探针纳米加工技术的现状与发展趋势.pdf

    探针纳米加工技术的现状与发展趋势.pdf

    18 1 2003 2 宫建茹 万立骏 白春礼 ( 100080) , , 50, Moore 1cm 0. 1m, 4000 ,2015 50 0. 1m , 100nm , , , 20 80 , (scanning probe microscope,SPM) SPM , ( 1nm) ,, ,, SPM , SPM , [ 1] 1987

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