电子级多晶硅的生产工艺_梁骏吾.pdfVIP

下载本文档

5
0
约 6页
2015-08-27 发布于重庆
举报
版权申诉

电子级多晶硅的生产工艺_梁骏吾.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

电子级多晶硅的生产工艺_梁骏吾.pdf

2000 12 Dec.2000 2 12 Engineering Science Vol.2 No.12 院士论坛梁骏吾 (中国科学院半导体研究所, 北京　100083) [] 　1000 t 。、、、、、、、、、 ;、。。 1000 t/a 。 [] 　;;;; 　　 [1] , 。 , , ppb , 12 。。, 1.2　。 SiHCl3 , 。 SiH- , Cl , , 3 1000t。 100 t 。 100 t/a, 4 000 t/a, Wacker 1　多晶硅技术的特殊性及我国的差距 [2] 4 200 t/a, Hemlock 6 200 t/a , 。 1.1　 , 50 。 , 3m, 。 , 。。 , 。 , , 、、、 , : 。 -11 5×10 , , 。 15×10-11 ( 50 ppt , 150 ppt)。1965 30t/a, 1988 5 500 t/a, 2000 26000 t/a, 。。 [] 　2000-09-19;　2000-10-23 [] 　 (1933-), , , , 12 : 35　 20%～22.5%, 9.6%14%, 2　主要的多晶硅生产技术选择 , 。 , , , 。 , Ca, g Al SiO ;Zn, Al g 10 ∶1, 4 SiCl ; SiHCl 1/10。, SiH 2 3 4 [3] 。, 。。 2.1　SiCl 10%～20%, 3 ～8 4 SiCl , μm/min。 800℃, 4 , (4 ～ 6 μm/ 40 kW ·h/kg, , min), 2%～10%, SiHCl3 。 SiH , SiH (1200℃), 250 kW ·h/kg,