倾斜梳齿的MEMS电容式传感器惯性脉冲响应特性研究.pdfVIP

第5期 电 子 学 撤 V01．36No．5 2008年5月 ACTAE【ECTRONlCASINICA 2006 May 倾斜梳齿的MEMS电容式传感器惯性脉冲响应特性研究 董林玺1，颜海霞2，钱恢1，孙玲玲1 (1．杭州电子科技大学微电子CAD研究所，浙江杭州310018；2．东芝水电设备有限公司，浙江杭州311504) ReactiveIon 摘要：DRIE(DeepEmNIlg)I艺加工的高深宽比梳齿电容不能保证绝对平行．本文在考虑低真空空 气阻尼力的同时，研究了梳齿电容倾斜的MEMs传感器对脉冲惯性信号的响应，并分析了DRIE工艺因素对器件性能 的影响．研究结果表明，当传感器为没有静电力反馈的双边电容结构时，梳齿电容的不平行对传感器的响应位移、惯性 脉冲响应线性度范围影响明显，且随着封装真空度增加而加重．若传感器有静电力反馈，惯性脉冲响应的灵敏度降低， 但DRIE工艺因素的影响程度降低．为了抑制DRIE工艺导致的梳齿电容不平行因素的影响，文中还设计了一个新型 的变电容面积的MEMS惯性传感器，并用ANSYS初步分析了其性能，设计了其详细的制作工艺流程． 关键词： 高精度微传感器；倾斜梳齿；惯性脉冲响应；MEMS 中图分类号：TN43 文献标识码： A 文章编号：0372．2112(2008)05．1035．06 ofInertialPulse ofMEMS Accelerometer Study Response Capacitive withNon-ParalleICombs ’DONG Lin．xil，YAN Xianl，SUN Hai一)【ia2，QIAN Ling．1in91 (1．Micr∞lectronic IXanzi 310018，China； CAD＆r舸ofHangzhouUniversity，Hart#，Zhej／ang 2．Toshiba 311504，Otina) Hydro-Electro点缸卸燃Company，Hangzhou，Zhej／ang combsofthecomb inertialsensorsfabricateda reactiveion Abstract：The capacitive by deep etching(DRIE)aleusually not this ofMEMS accelerometerwith combsisstudied parallel．Inpaper，inertialpulseresponse capacitive non-parallel considering theair in v扯ullm．andtheeffectsDRIE on themicro-accelerometerare I℃- low of damping processperf蝴of analyzed．The suits