磁控溅射C_W纳米多层膜的微观结构分析.pdfVIP

29 4 电 子 显 微 学 报 Vol. 29 ，No. 4 第 卷第 期 2010 8 2010-08 年 月 Journal of Chinese Electron Microscopy Society 文章编号:1000-6281 (2010)04-0328-05 磁控溅射 C / W 纳米多层膜的微观结构分析 1 2 2 2 ， ， ， 陈迪春 蒋百灵 时惠英 付杨洪 ( 1. ，2. ， 7 10048) 西安理工大学 现代分析测试中心 材料科学与工程学院