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无机非金属材料导论论文 标题：高性能CVD金刚石薄膜涂层刀具的研究进展 姓名: 罗 敏 一 学号： 2010440791 班级：无机普2010级01班 高性能CVD金刚石薄膜涂层刀具的研究进展 摘要: CVD金刚石薄膜涂层刀具制造设备投资小，性能价格比高，极富市场竞争力，因而可成为高效高精度切削加工有色金属及其合金、复合材料和硬脆非金属材料的最理想的新一代刀具材料。 关键词: CVD金刚石薄膜 涂层刀具 化学气相沉积法 刀具性能 1 引言 金刚石薄膜在力学方面具有许多独特的优良性能，它接近天然金刚石的硬度和耐磨性，具有低摩擦系数、低热膨胀系数、高热导率以及高化学稳定性等特性，从而使其在工模具和耐磨器件领域具有广阔的应用前景,已成为理想的刀具材料。 用金刚石刀具切削硅铝合金等硬质材料时具有加工精度高、切削寿命长、切削力小及加工效率高等优点。随着汽车工业的发展对金刚石刀具需求量越来越大，天然单晶金刚石和人造聚晶金刚石刀具制造工艺复杂成本较高，而用化学气相沉积方法在硬质合金表面生长一层金刚石薄膜制成的刀具具有金刚石的特性，而且制造简单成本较低，是较好的替代品。目前国内外研究单位都在积极开发金刚石薄膜涂层刀具，但未形成规模生产和应用，原因是涂层工艺基体材料及刀具几何参数还不能保证。 CVD金刚石薄膜涂层刀具是在刀具基体上直接沉积金刚石薄膜，因而适用于