现代X光电子能谱_XPS_分析技术.pdfVIP

现代仪器(www. moderninstrs. org. cn) o o # 现代X 光电子能谱(XPS) 分析技术 ( 100875) 3 : XPS(Mono XPS) 、XPS( SAXPS) XPS(iXPS) , 。3 。 XPS XPS XPS X 光电子能谱(XPS) 是利用软X 射线激发样品 的铝靶微聚焦单色器, 可同时实现Mono XPS 和 电子能量谱, 主要用于分析样品表面元素 其价态。 SAXPS 功能(Mono SAXPS) , 灵敏度、能量分辨率等性 它是表面分析中最有效、应用最广的分析技术之一。 能得到明显的改善。这种微聚焦单色器由聚焦电子 这是因为它表面灵敏度高; 可同时提供元素定性定 枪、可移动Al 阳极靶、晶体等组成。其中的AlK X