薄膜技术复习题.docVIP

图1为常用机械泵的结构图，试指出图中各部分的作用和功能。 图1 机械泵的结构图 1、进气口：进气 2、过滤器：分离悬浮在气体中固体颗粒，有害物质 3、大转轮：提供抽取和压缩空气的动力 4、弹簧：伸缩叶片 5、风机叶片：分割气体 6、气镇阀（排除凝结物，加速抽出蒸汽而不至于污染油质） 7、过滤器 8、排气阀：在B处得空气压缩到一定程度后排出压缩空气，在此之前密封压缩室 9、排气管：排气 10、密封面：分割A处和C处，保持密封性 试画出由机械泵、涡轮分子泵、离子泵和真空阀等部件组成的超高真空系统的原理结构图，并简述其工作原理。 光电阴极超高真空激活系统抽气系统由机械泵、涡轮分子泵、溅射离子泵和钛升华泵组成，其中主泵是溅射离子泵和钛升华泵，预抽泵是机械泵和涡轮分子泵。预抽泵的作用是将被抽容器的真空度从大气压降到主泵工作所需的启动压强，当主泵开始工作时，预抽泵可以关闭。根据抽气系统的结构和抽气速率，采用了激活室和XPS主真空室共用前级泵的方案。在分子泵的抽气管道上设置三通阀，一边连接表面分析室，另一边与激活系统相连。这样就减少了预抽所用的机械泵和涡轮分子泵。 简述薄膜的形成过程。 薄膜：在被称为衬底或基片的固体支持物表面上，通过物理过程、化学过程或电化学过程使单个原子、分子或离子逐个凝聚而成的固体物质。主要包括三个过程：（1）产生适当的原子、分子或离子的粒子；（2