CeO2+X射线光电子能谱的电荷补偿分析.pdfVIP

Ce02X射线光电子能谱的电荷补偿分析 谢方艳，龚力，张卫红，陈建+ (广州中山大学测试中心广州510275) 摘要：电荷补偿，或称为荷电中和是光电子能谱分析技术中的一个难点，其 原因在于样品导电性差，导致样品表面的荷电不均匀。本论丈以二氧化铈粉末 为研究对象，摸索了不同的电子中和枪条件对光电子能谱数据采集结果的影 响．通过与用双阳极Mg靶测试得到的结果比较，确立了用单色器测量电子能 谱时比较可靠的中和条件． 关键词：单色器；荷电中和；二氧化铈：光电子能谱 近年来，商用光电子能谱仪()①S)普遍使用单色化的X射线源，大大提高了仪器的灵 敏度、能量分辨率、空间分辨率，消除了非单色化X射线源由于韧致辐射引起的卫星峰的 干扰。然而，单色化x射线源的使用将使绝缘样品的荷电效应更为严重。当样品受x射线 照射激发出光电子后，带正电的空穴留在样品表面。如果样品是导体，同谱仪有良好的电接 触，则正电荷立即被来自样品托的电子所中和【11。如果样品是绝缘体，则来自谱仪的电子由 于样品不导电而不能传递到样品表面，无法中和样品表面的正电荷，使得样品表面荷正电， 此即绝缘样品的荷电效