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AIT玻璃衬底非晶硅薄膜的固相晶化研究.pdf
第40卷第6期 人 工 晶 体 学 报 V01．40No．6
OFSYNTHETICCRYSTALS December．201l
2011年12月 JOURNAL
AIT玻璃衬底非晶硅薄膜的固相晶化研究
郑 文1，陈永生2，卢景霄2
(1．滨州学院物理与电子科学系，滨州256600；2．郑州大学材料物理教育部重点实验室，郑州450052)
摘要：本实验在铝诱导织构的基础上，对以AIT浮法玻璃为衬底沉积非晶硅薄膜同相晶化进行了初步研究。采用
拉曼散射、x射线衍射等手段对生成多晶硅薄膜的结构和光学性能进行了表征和分析。研究结果表明：热处理lO
h，薄膜的晶化率达到80％以上，同时具有良好的(111)择优取向；同平板玻璃衬底对比，AIT玻璃上制备的多晶硅
薄膜具有良好的陷光作用。
关键词：铝诱导织构；固相晶化；多晶硅薄膜；陷光作用
中图分类号：0484 文献标识码：A
Phase of onAIT
Solid Silicon Glass
CrystallizationAmorphousPrepared
ZHENG
Wenl，CHENYong—shen92，LUJing—xia02
of and
Electronics，Binzhou 256600，China；
(1．DepartmentPhysics College，Binzhou
ofMaterial of of 450052，China)
2．KeyLaboratory PhysicsMinistryEducation，Zhengzhou
17 201 2November201
(Received 1)
May 1，accepted
onaluminum—
Abstract：Solid amorphousSilicon(a-Si)films
phasecrystallization(SPC)of prepared
Induced Wasstudied．Thestructureand offilmswerestudied
textured(AIT)glass opticalproperties by
virtueofRaman and diffraction．Theresultsshowthatthe volume
scatteringspectraX—ray crystalline
fractiononAIT hasreachedabove after10 ithasabetter
glass 80％byrapid—thermalprocess h，and light
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