AZO薄膜刻蚀形貌优化及其在硅基薄膜双结太阳能电池中的应用.pdfVIP

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2015-08-31 发布于湖北
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AZO薄膜刻蚀形貌优化及其在硅基薄膜双结太阳能电池中的应用.pdf

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AZO薄膜刻蚀形貌优化及其在硅基薄膜双结太阳能电池中的应用.pdf

第41卷第5期人工晶体学报 v。1．41№5 三Q!兰生!Q旦 !Q型垦盟垒圣Q!璺兰堕!旦垦!!鱼垡壁!璺!垒生兰：：! Q堕!坠坚：兰Q!兰 AZO薄膜刻蚀形貌优化及其在硅基薄膜双结太阳能电池中的应用陈光羽，何延如，雷志芳，谷士斌，赵冠超，杨荣，盂原，郭铁，李立伟 (新奥光伏能源有限公司，廊坊065001) 摘要：采用磁控溅射结合酸腐蚀法制备掺铝氧化锌透明导电氧化物薄膜，研究关键溅射工艺参数对AZO薄膜腐蚀后性能的影响。研究发现，在较低沉积温度和较大溅射压强条件下，样品腐蚀后可以形成粗糙度和雾度更大的表面形貌，有利于提高电池性能；而溅射功率增加，虽然能提升样品腐蚀后的粗糙度，但雾度的增加则呈现饱和趋势。将具有优良光电性能、不同雾度的AZO薄膜作为前电极制备非晶／微晶硅薄膜双结太阳能电池，发现雾度越大，电池的短路电流密度越大，特别是底电池电流密度越大，从而电池的光电转换效率也获得提高。这一发现有助于通过优化溅射工艺参数来改进AZO薄膜表面形貌和电池性能。关键词：掺铝氧化锌薄膜；磁控溅射；粗糙度；短路电流密度中图分类号：0484 文献标识码：A ofTexturedAZOSurface towards in Optimization MorphologyApplications TandemSiliconThinFilmSolarCells CHEN Yah—ru，LEI Shi—bin，ZHAOGuan-(hao。 Guang—yu，HE Zhi-fang，GU YANG Li—wei Rong，MENGYuan，GUOTie，LI Solar (ENNEnergyCo．，Ltd．，Langfang065001，China) 4 (ReceivedJuly2012) this zinc filmswere Abstract：In oxide(AZO)thin paper，texturedaluminum—doped preparedusing followed the of wet—chemical effects magnetronsputtering by etching，and sputteringprocessparameters on were resultsindicatedthatlow and propertiesinvestigated．The depositiontemperaturehighsputtering conditionsobtain AZO and hazefrom wet surface pressure help large roughnesshigh subsequentetching arefav