pH值对溶胶-凝胶法制备的掺铝氧化锌薄膜光电性能的影响.pdfVIP

38卷第3期 人 工 晶 体 学 报 v01．38№．3 pH值对溶胶-凝胶法制备的掺铝 氧化锌薄膜光电性能的影响 刘 凯1，赵小如1，赵亮1，姜亚军1，南瑞华2，魏炳波1 (1．西北工业大学理学院，西安710072；2．西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室，西安710072) 摘要：采用溶胶．凝胶法在普通载玻片上制备出c轴择优取向的ZnO：AI(ZAO)透明导电薄膜，研究了溶胶pH值对其 结构、表面形貌、电学和光学性能的影响。结果表明：随着pH值的降低晶粒尺寸增大；当溶胶pH值从8．4降低到6．8 时，薄膜的电阻率先降低而后略有升高，当pH值为7．2时其电阻率达到最小值2．6×10。3Q·cm，进一步分析表明，溶 胶pH值的变化影响了薄膜晶界散射，而后者又使载流子迁移率发生了变化；薄膜的透光率在可见光部分随着pH值 的降低而升高，而禁带宽度则从3．36eV降到3．32“。 关键词：溶胶-凝胶法；透明导电薄膜；氧化锌；铝掺杂 中图分类号：0484 文献标识码：A Effectof Valueonthe andElectrical pH Optical Properties Thin of ZnO Films Process AI-doped bySol·gel LIU Kail，ZHAOXiao．形1，ZHAO玩增1，JIANG地面1，NAN融i-hua2，WEIBing-b01 0f Solidification (1．SchoolScienee，NovJtwe翻mPolytechnicalUniversity。xi’iEm710072，China；2．StateKeyhb0咖of 0fMaterialScienceand eroc咖。School Engineering．NorthwesternPolytechniealUniversity．Xi’蛐710072，China) Notcmber (Rece／m／23 2008，a∞om／20December2008) ZnO thinfilmsorientedthe havebeen Abstract：AI·dopedtransparentconducting alongc-axis preparedby the theeffectof valueof sol the on on sol—gelprocessgl舶鼢and pH precursor and ofthin showthatthe morphologi∞．electrical opticalpropertiesfilms懈investigated．田他results sizesoffilmsincreasewiththedecreaseof valueofthe resistivitiesdecreaseat grain sol，the