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7.2 电涡流传感器 7.2.1 电涡流传感器的工作原理 金属导体置于变化的磁场中或者在磁场中运动时，金属体内就要产生感应电动势而形成感应电流，感应电流在金属体内自行闭合，电流的闭合流线类似水涡形状，故称为电涡流。这种由电磁感应原理产生电涡流的现象称为电涡流效应。 电涡流传感器就是基于电涡流效应进行工作的，工作原理如图7.12(a) 所示。 7.2 电涡流传感器 7.2 电涡流传感器 7.2.2 电涡流传感器的结构 电涡流传感器可分为高频反射式和低频透射式两类 。 7.2 电涡流传感器 7.2.3 电涡流传感器的测量电路 1．调幅式电路 7.2 电涡流传感器 7.2 电涡流传感器 2．调频式电路 调频式测量电路由传感器线圈L与电容组成LC振荡器，以振荡器的频率f作为输出变量，其测量电路框图如图7.16所示。 7.2 电涡流传感器 7.2.4 电涡流传感器的应用 1．位移测量 电涡流传感器可用来测量各种金属试件的微小位移量，如图7.17所示。 7.2 电涡流传感器 2.厚度测量 电涡流传感器可以无接触地实现金属板或非金属板镀层厚度的测量，测量原理如图7.18所示。 7.2 电涡流传感器 3．温度测量 电涡流传感器测量温度原理如图7.19所示，传感器线圈对着被测金属表面，传感器线圈与电容组成振荡电路。当金属表面温度发生变化时，金属导体的电阻率随之变化，从而改变了电涡流强度，使线圈的电感量改变，振荡器的振荡频率发生变化，通过计数器测出振荡频率就可测出金属表面温度。 * * （a）工作原理 （b）等效电路 图 7.12 电涡流传感器基本工作原理 传感线圈的等效阻抗为 图 7.13 CFZ—1型电涡流传感器结构 1—电涡流线圈 2—框架 3—框架衬套 4—输出屏蔽电缆 5—电缆插头 图 7.14 调幅式测量电路原理框图 图 7.15 调幅式电路谐振曲线 被测物体与传感器距离的变化和输出电压间的关系如图7.15所示。 图 7.16 调频式测量电路原理框图 （a）轴向位移测量 (b) 磨床换向阀、先导阀位移测量 （c）金属试件热膨胀系数测量 图 7.17 电涡流传感器位移测量 图7.18 电涡流传感器厚度测量 图7.19 电涡流传感器温度测量