TiO2SiO2复合薄膜的结构表征及光学特性研究.pdfVIP

第37卷 增刊l 稀有金属材料与工程 、b1．37，Suppl．1 2008年 1月 RAREMETALMATERIAI．SANDENGn叮EERING Jan蚴叮2008 王晓强1，甄聪棉2，李明亚1 (1．东北大学秦皇岛分校，河北秦皇岛066004) (2．河北师范大学，河北石家庄050016) 摘 要：利用S01．Gel二步水解法制各了Ti02／Si02复合薄膜材料，对样品在空气气氛中进行加热，再于不同温度下进 行了退火处理。采用xlm以及Ram蚰谱表征了样品的微结构，并通过紫外可见透射谱研究了样品的光学特性。结果表 明，样品的光学特性与样品中Si02含量存在依赖关系，并分析了相应机理。 关键词：S01．gel；Ti02／Si02；复合薄膜；光学特性 304 中图法分类号：TN 文献标识码：A 文章编号：1002．185x(2008)Sl-545一03 醇1、催化剂、去离子水，充分搅拌后得到溶胶。再利 Ti02、Si02薄膜由于性能稳定、折射率可调， 用两步水解法得到Ti02／Si02复合溶胶。首先，将 Ti02／Si02复合薄膜在光学、光子学领域的应用具有很 大的潜力，如减反膜、增透膜及光波导薄膜等【l】。根 Si(OC2H5)4溶于乙醇，之后加入乙醇、水和盐酸的混 据不同的应用目的，将折射率较低的Si02与折射率较合溶液经充分搅拌后得到充分水解的Si02溶胶，为表 述方便，将此溶胶记为a；将Ti(OC4H9)4溶于乙醇， 高的Ti02进行复合，通过调节Ti02比例可获得不同 之后加入乙醇、水和盐酸的混合溶液经充分搅拌后得 折射率(1．46～2．55)的薄膜，进而制备出各种光波导及 梯度折射率薄膜材料【2】。 到Ti02溶胶，记为b，将a、b溶胶按照一定配比进行 TiO：最主要的特性是光催化效应，其禁带宽度为 混合，在室温下进行充分搅拌，得到稳定的复合溶胶。 1．2 Ti02，Si02复合薄膜的制备及处理 最=3．2eV，不能被可见光(380衄)激发，同时，随着 处理温度的升高，其光催化特性也会降低。当在Ti02 分别以清洁的玻衬底及硅衬底作为载体，采用旋 涂仪制备出各种成分的薄膜。将载体固定在旋涂仪上 中加入Si02后，通过改变Ti02的能带宽度，可使其 在可见光范围内能够被激发，具有自清洁及抗菌能力； 也可以使Ti02在高温处理后仍具有光催化特性。研究r／mjn，为了去除薄膜中的残留水分及乙醇，对样品在 表明，这种良好的光催化特性是由于薄膜亲水性的提 空气气氛中100℃加热20min。之后样品在不同的温 nm。 高而产生的pJ。 度下退火处理1h，所制备薄膜膜厚为100～200 1．3性能测试 Ti02／Si02复合薄膜的制备方法主要有气相法、微 利用D／ma】【．RB型X射线衍射仪以及E55+ 乳液反应法、射频溅射法、MOCVD法以及S01．Gel 法等【¨】，其中S01．Gel法因为设备简单、成本低廉、FRAl06／5型傅里叶变换激光拉曼光谱仪表征了样品 操作容易、制备过程中配比可变，能够使材料在分子 的结构，并通过紫外可见透射谱研究样品的光学特性。 水平复合等优点得到广泛应用。本工作用S0