不同材料滤片对13～43 nm高次谐波的抑制.pdfVIP

第15卷第12期 光学精密工程 V01．15No．12 andPrecision 2007年12月 optics Engineering Dec．2007 ArticIeID1004—924X(2007)12—1915一06 不同材料滤片对13～43nm高次谐波的抑制 周洪军1，钟鹏飞2，霍同林1，郑津津2，张国斌1，戚泽明1 (1．中国科学技术大学国家同步辐射实验室，安徽合肥230029； 2．中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，安徽合肥230026) 摘要：国家同步辐射实验室光谱辐射标准和计量光束线(U27)的SGM分支是专门为光学元件性能测试和探测器定标而 建造的。为了能够精确测量光学元件在极紫外和软X射线波段的性能，必须充分抑制高次谐波提高光谱纯度。对于已 经建成的光束线，要改变光学设计和现有结构来抑制高次谐波是困难的，最简单且有效的方法是用不同材料的滤片来抑 制不同波段的高次谐波。为了研究高次谐波的抑制效果，可将840l／mm透射光栅放在U27光束线SGM分支的出射狭 缝后面色散出射光，用探测器做角度扫描记录下信号强度曲线，然后分析得到高次谐波的含量和分布。本文分别研究了 不同厚度的AI(200、400和600nm)、si3M／Mo／si，si3N‘／Mo／Si／Mo／Si多层膜滤片(100／50／200nm，100／50／150／ 150／250 nm)和Al／Mg／Al滤片对13～43nm光谱高次谐波的抑制效果。研究结果显示，400nm厚的Al滤片适合于17 ～33nm光谱高次谐波的抑制，在保证探测器信号强度的条件下，高次谐波信号强度占探测器信号强度的比例2％，经 nm的高次谐 探测器量子效率修正后，高次谐波比例o．6％。Si，N。／Mo／si／Mo／Si多层膜滤片可以有效地抑制13～19 波．Al／Mg／Al滤片对30～43nm的高次谐波有很好的抑制作用。这一结果为光学元件的透射率、反射率和探测器精确 定标奠定了基础。 关键词：同步辐射；高次谐波抑制；滤片 中图分类号：0433．1文献标识码：A of harmonicsdifferent SuppressionhigheI—order by materialfiltersin13～43nm ZHOU Peng—fei2，HUO Hong—junl，ZH()NG Tong一“n1， ZHENG Jin-jin2，ZHANGGuo-binl，QIZe-min91 (1．Nn￡io刀口Z Sy咒c^，。o￡，．o咒R口di口￡io门L口6Drn￡o，≯，Uhiz，已rsf￡yo厂Scie咒ce口咒d 230029，(冼i竹口；2．DPp口，tmP行￡o厂 了■f^行ozog了D，C，zi竹口，HF^i PrPfisfo，z P，℃cisio行^—缸c^inPry口”dJ竹5￡，．“，矩PⅣ￡口￡iD刀，L，hft肥，．sifyo厂 SfiPfP“，2d 230026，C^i行n) D，CIIlf竹口，HP^f TPc^竹oZogy of RadiationStandard