光谱宽度与光束截面因子对平面光栅衍射效率测量的影响.pdfVIP

第22卷第3期 光学精密工程 V01．22NO．3 andPrecision 2014年3月 Optics Engineering Mar．2014 文章编号 1004—924X(2014)03—0562—07 光谱宽度与光束截面因子对平面光栅 衍射效率测量的影响 曹海霞h孙，巴音贺希格1，崔继承1，吴娜1，潘明忠1 (1．中国科学院长春光学机密机械与物理研究所，吉林长春130033) (2．中国科学院大学，北京100049) 摘要：为了进一步提高平面光栅衍射效率测试仪的测量精度，分析了影响平面光栅衍射效率测量值的主要因素。根据 平面光栅相对衍射效率测量原理，提出光束截面因子的概念并推导出了平面光栅光束截面因子k(目)的解析表达式。进 一步分析了影响衍射效率测量值的因素(光谱宽度与光束截面因子)，并结合衍射效率测量值定义了两个用于回归分析 的自变量。针对作为因变量的理论值与所定义自变量之间存在的非线性关系，提出了采用二次完全式回归分析的数学 方法，进而建立了提高衍射效率测量精度的修正公式。结果表明：对平面光栅衍射效率测量值进行修正后，修正值与理 论值之间的误差可控制在±o．5Vo以内，提高了衍射效率的测量精度，改进了衍射效率测试仪的整机性能。 关键词：平面光栅；衍射效率；二次完全式回归分析；光谱宽度；光束截面因子 中图分类号：()436．1；0433．4文献标识码：A doi：10．3788／OPE0562 Effectof widthandbeamcrosssectionfactoron spectral diffraction measurementof efficiency planegrating Nal，PAN CA()Hai—xial·“，BAYANHESHIGl，CUI ji—chen91，WU Ming—zhon91 Institute Mechanicsand Sciences， (1．Chang(‘hunofOptics，Fine Physics，ChineseAcademyof 130033，China； Changchun Chinese 100049，China) Sciences，Beijing 2．Universityof Academyof author，E-mail：caohaixial32@163．com *Co，．，．已spo卵di船g Abstract：Tothemeasurementofa diffraction in— improve accuracyplanegrating efficiencymeasuring affectfactorsonthediffraction measurementofa werere— strument，the efficiency planegating tothe ofr