分波段式中阶梯光栅原子发射光谱仪.pdfVIP

第22卷第4期 光学精密工程 V01．22No．4 andPrecision 2014年4月 Optics Engineering ADr．2014 文章编号1004—924X(2014)04—0870—07 分波段式中阶梯光栅原子发射光谱仪 朱文煜1，陈少杰孙，撖芄艽2，崔继承2，曹海霞2～，巴音贺希格2，齐向东2，唐玉国2 (1．长春光机医疗仪器有限公司，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033； 2．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033； 3．中国科学院大学，北京100049) 摘要：受探测器发展水平的限制，以中阶梯光栅光谱仪为分光模块的ICP—AES电感耦合等离子体原子发射光谱仪(ICP— AES)难以实现宽波段内多元素的同时测量。本文对现有中阶梯光栅光谱仪进行了改进，设计出一种适用于ICP—AES 多元素同时测量的分波段式中阶梯光栅光谱仪。通过改变棱镜的入射角度，将系统波长扩展为200～900nITl，光谱分辨 率为25000，突破了现有探测器尺寸的限制，实现了宽波段范围内的多元素快速测量。将中阶梯光栅光谱仪与固态ICP 光源组合，进行了系统波长标定与化学试样测试。实验结果表明：波长测试误差小于0．01nlTl，满足化学元素精确判读 要求；分波段式中阶梯光栅光谱仪在保持原有仪器性能的前提下，增宽了仪器的有效光谱探测范围，为多元素的同时测 量提供了有效手段。 关键词：原子发射光谱仪；电感耦合等离子体；中阶梯光栅光谱仪；中阶梯光栅； 中图分类号：TH744．1文献标识码：A doi：10．3788／()PE0870 Echelle-emissionwithdivided spectrometer spectralcoverage ZHU Shao—jie孙，HAN Ji—chen92，CA()Hai—xia2～， Wen—yul，CHEN Peng—pen92，CUI BAYANHESHIG2，QI Xiang—don92，TANGYu—gu01 unMedicalInstrument unInstitute Mechanicsand (1．Changch Co．，Ltd．，ChangchofOptics，Fine 130033，China； Physics，ChineseAcademyofSciences，Changchun Institute Mechanicsand Sciences， 2．ChangchunofOptics，Fine Physics，ChineseAcademyof 130033，China；3．UnizChinese 100049，China) Changchun rersityof AcademyofSciences，Beijing *CorrPs户。行di行gauthor，E-mail：shaojie．cd@gmail．corn the of PlasmaAtomicEmission Abstract：Limited detectors，the by development InductivelyCoupled onanechel