一种变面积型差动电容加速度传感器的设计.pdfVIP

第37卷 第 3期 兰 州 理 工 大 学 学 报 V0L37 No．3 2011年 6月 JournalofLanzhouUniversityofTechnology Jun2011 文章编号：1673—5196(2011)03-0043-04 一 种变面积型差动电容加速度传感器的设计 李恒灿，李 勇 (华北水利水电学院机械学院，河南 郑州 450011) 摘要：介绍一种基于滑膜阻尼的差动电容加速度传感器．该加速度传感器利用圆柱形差分电容极板间重合面积的 改变来检测加速度的大小，保证输出电压与加速度之间的线性度．对加速度传感器进行结构设计和分析，介绍加速 度传感器的工艺流程．测试结果表明，该加速度传感器的灵敏度较好，谐振频率与理论计算相吻合． 关键词 ：电容式加速度传感器；差动电容；结构设计；工艺流程；滑膜阻尼 中图分类号：TH825 文献标识码：A Designofaccelerationtransducerwithavariableareadif