LNO薄膜电极的制备及其特性研究.pdfVIP

康晓旭 等 ：LNO薄膜 电极 的制备及其特性研究 317 LNO薄膜电极的制备及其特性研究。 康晓旭 ，林殷茵，汤庭鳌，钟 宇，黄维宁，姜国宝，王晓光 (复旦大学 微 电子学系，Asic和系统国家重点实验室 。上海 200433) 摘 要 ： 采用水基化学溶液涂布 (water-basedcoating)的方 使用聚乙烯醇来调节粘度 。最后得到 0．1mol／L的溶液 ，将溶液 法，在 SiO2／si上制备 出了LaNi03(LNO)导 电金属氧化物薄 以4000r／min的转速旋涂在 Si02衬底上 ，每涂 一层后 ，先在 膜 。系统研 究 了退火温度 、退火 时间、厚度等工艺条件对 LN0 230℃下烧结 5min，再在 450℃下烧结 5min。然后再涂下一层。 薄膜 电学特性和结构的影响，并进一步分析了产生这些现 象的 这样多次旋涂，直至得到所要 的厚度 。最后在 500～850℃之间 原因。制备的LNO薄膜 电阻率为 1．77×1O Q ·cm，且具有 某一温度退火 30min。以上热处理是根据热失重分析 (TGA)进 良好的形貌 。以LN0为独立下电极 ，制备 出了AJ．(Cr)／PZT／ 行优化得到的，如 图 1所示 ．在 i00～150℃之间是水分的挥发 LN0／Si02结构的铁 电电容，通过其 电滞 回线和漏 电特性 的测 和硝酸镧 的分解 ，200℃左右是 甲酸镍 的分解 ，200～400℃是聚 试 ，可见制备的LN0薄膜可 以很好地满足作 为铁 电电容 电极 乙烯醇 的充分分解 。 的 需要 。 关键词 ： LNO；氯化物 电极 ；铁 电体 中图分类号 ： TN386 文献标识码 ：A 文章编号 ：i001-9731(2003)03-0317-03 1 引 言 由于铁 电存储器具有非挥发性、抗辐射性和读写速度快等 Temperature／C 优点，对其制备技术及特性的研究得到了广泛的重视 ，其 中设法 图1 LNO溶液的热失熏分析 提高铁 电薄膜 的抗疲劳特性是难点和关键 。为了改善铁 电体 的 Fig1ThermalanalysisofLNO solution 抗疲劳特性 ，国际上近年来在采用氧化物 电极来取代传统的Pt 2．2 性能测试 电极方面进行 了大量研究，如 YBa2Cu307… SrRuO3、Ir02、 采用 日本理学 电机生产 的 D／MAX·RB12kw 旋转 阳极靶 RuO2、 Sn一CoO、LaYiO~等。LaYiO~(I 0『)是一种导电的金属 多晶X射线衍射仪(CuKa射线)测定薄膜 的相结构 ；采用 D41—4 氧化物 ，它是一种准立方钙钛矿结构的晶体，晶格常数为0．384nm。 型四探针测试仪测试薄膜的方阻，然后根据 由台阶仪测出的厚 LNO没有禁带，其导带是由Ni”的 (eE)d电子与0 的P电子 的 度．换算 成 电阻率；采用 PHILIPS的 XL3OFEG型扫描 电镜 相互作用形成的，Ni”的价 电子构型是 t2e．由于 t。带 已经全 (SEM)观察薄膜形貌 。 充满 。所 以N 部分充满