一种新型的纳米巨磁阻抗磁敏传感器.pdf

吴志明 等：一种新型的纳米巨磁阻抗磁敏传感器 2965 一种新型的纳米巨磁阻抗磁敏传感器* 1 1.2 1.2 1.2 1 2 2 2 吴志明 ，杨燮龙 ，杨介信 ，戴文恺 ，赵振杰 , 俞建国 ，丁永芝 ，丁 浩 ( 1.华东师范大学 纳米功能材料与器件研究中心, 上海 200062 ； 2.上海华泰纳米磁敏器件研究所, 上海 200062 ) 摘 要：主要介绍纳米微晶材料的巨磁阻抗效应及利 用该效应研制的一种新型的磁敏传感器。它以脉冲频 2 纳米微晶材料的巨磁阻抗效应 率的方式作为输出结果，与传统的磁敏传感器相比， 图 1 显示了用四探针法测定材料巨磁阻抗效应 具有高灵敏度、便于数字化测量等优点，在地磁测量、 的简图。当样品通过一定频率 （几百kHz-几百MHz ） 磁航向等方面有良好的应用前景。 的交变电流时，在外磁场Hex 的作用下，样品两端的 关键词：磁敏传感器；巨磁阻抗效应；频率测量 交变电压会发生很大变化。图2 显示了纳米微晶材料 中图分类号：O472 文献标识码：A 在不同热处理和测试条件下所观察到的磁阻抗谱。 论文编号：1001-9731 （2004 ）增刊 1 引 言 [1] 巨磁阻抗效应 （Giant Magneto-impedance effect ）是指磁性材料交流阻抗随外磁场显著变化的 效应。1992 年日本名古屋大学K.Mohri 首先在Co 基 非晶丝中观察到一种磁灵敏现象，即在几个奥斯特磁 场下材料的阻抗变化∆Z/Zo 高达 50% ，比金属多层膜 Fe/Cu 或Co/Ag 在低温、高场下观察到的巨磁阻效应 高一个数量级。随后人们还发现如果适当控制铁基纳 图1 巨磁阻抗效应测试简图 Fig 1 Scheme for measuring GMI 米微晶材料的磁结构和电流驱动方式，可以观察到更 显著的巨磁阻抗效应[2,3] ，并且在热稳定性和性价比 上优于Co 基非晶，具有很强的竞争力。 目前，纳米巨磁阻抗材料在磁敏传感器中的应用 已引起人们的广泛关注。国际上报道的磁敏传感器大 都以电压幅度变化的方式作为输出结果[4] 。本文主要 介绍一种新型磁敏传感器，它利用材料阻抗随外磁场 显著变化的特性，把巨磁阻抗材料构成一个磁敏电感 直接用作为振荡器元件，并以脉冲的方式输出。在一 定参数条件下，可使输出脉冲的频率与测量磁场大小 成线性关系。与传统的磁敏传感器相比，具有高灵敏 图2 样品(a)横向磁场Hex ＝199kA/m 退火, (b)未加 度、便于数字化测量等优点，尤其在弱磁场测量方面 磁场退火的磁阻抗谱 有十分诱人的应用前景。 Fig 2 The GMI spectrums (a) annealed with transversal