基于MS3110电容读取芯片的MEMS加速度计.pdfVIP

第 18 卷第 2 期 中国惯性技术学报 Vol.18 No.2 2010 年 4 月 Journal of Chinese Inertial Technology Apr. 2010 文章编号：1005-6734(2010)02-0236-04 基于 MS3110 电容读取芯片的 MEMS 加速度计 刘民杰，刘云峰，董景新，赵常德 （清华大学 精密仪器与机械学系 精密测试技术及仪器国家重点实验室，北京100084） 摘要：介绍了通用电容读取芯片 MS3110 的内部结构、基本原理及其使用方法，提出了采用单片机实现片内 EEPROM 编程的方法，并给出了读写控制框图。以梳齿式硅微传感器为敏感元件，采用滞后比例积分调节器， 基于 MS3110 通用电容读取芯片设计了一种 MEMS 力平衡闭环加速度计。实验结果表明：设计的 MEMS 加速度计 能够闭环正常工作并取得了一定的性能。 关 键 词：MEMS 加速度计；通用电容读取芯片；MS3110 ；闭环系统 中图分类号：U666.1 文献标志码：A MEMS accelerometer based on capacitive readout IC MS3110 LIU Min-jie, LIU Yun-feng, DONG Jing-xin, ZHAO Chang-de (State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments, Department of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua University, Beijing 100084, China) Abstract: MS3110 is a universal capacitive readout (UCR) integrated circuit (IC). In this paper, its configuration, operating principle and usage are introduced. A method of programming the EEPROM on-chip with single chip microcomputer is presented with the chief writing and reading control block diagram. Based on the UCR IC, a new MEMS accelerometer with multi-finger micro-machined sensor is designed, in which force-rebalanced with lag proportional-integral controller is applied to implement the closed-loop system. The measurement result shows that this accelerometer can work under closed-loop condition and obtain improved performances. Key words: MEMS accelerometer; universal capacitive readout IC (UCR IC); MS3110; closed-loop system 对于采用电容方式感应物理量变化的 MEMS 传感器来说，传感器所输出的信号非常微弱，这就对电容检测电路的分 辨率提出了很高的要求，MEMS 传感器设计中的关键问题之