微空心阴极放电的计算机模拟.pdfVIP

第 38 卷 第 2 期 电 子 科 技 大 学 学 报 Vol.38 No.2 2009年3月 Journal of University of Electronic Science and Technology of China Mar. 2009 ·物理电子学· 微空心阴极放电的计算机模拟 顾小卫，蒙 林，李家胤，孙宜琴，于新华 ( 电子科技大学物理电子学院 成都 610054) 【摘要】给出了圆筒形微空心阴极氦气放电的三维、时域、自恰流体方程组(粒子连续性方程、电子能量平衡方程和泊松 方程)及其稳态的差分方程组和合理的边界条件，并利用计算机模拟计算，得出了放电稳态时形成的粒子密度、电子平均能量、 电位等值线和电场分布图。结果表明在放电过程中存在明显的阴极位降区和负辉区，空心阴极效应明显，存在高能电子以及 放电空间中以径向电场为主。并对计算结果进行讨论，为微空心阴极放电器件提供了理论依据。 关 键 词 边界条件; 计算机模拟; 流体模型; 微空心阴极 中图分类号 O53 文献标识码 A doi: 10. 3969/j. issn. 1001-0548. 2009. 02. 19 Computer Simulation of Microhollow Cathode Discharge GU Xiao-wei, MENG Lin, LI Jia-yin, SUN Yi-qin, and YU Xin-hua (School of Physical Electronics, University of Electronic Science and Technology of China Chengdu 610054) Abstract A three-dimensional, time-dependent, and self-consistent fluid model is developed to simulate the helium plasma in a cylindrical microhollow cathode (MHCD) with reasonable boundary conditions. The particle density, electric potential, electron energy, and the distribution of the electric field are calculated. The results show that there exist the cathode dark space region and negative glow region, and the hollow cathode effect is in evidence. The results presented in this paper provide an understanding of the basic mechanisms governing the MHCD devices. Key words boundary condition; computer simulation; fluid model; microhollow cathode 德国物理学家Paschen 于1916年首次报道了空 实际物理边界条件(包括二次电子发射)等因素( 以往 心阴极放电由于存在空心阴极效应，产生稠密等离 模型中没有考虑的) ，模拟了接近实际的圆筒形微空 子体的现象。由于圆筒微空心阴极放电比普通辉光 心阴极放电现象。 放电具有一些独特的电光学特性，广泛运用于等离