微波退火法低温制备多晶硅薄膜晶体管.pdfVIP

维普资讯 第23卷第4期 压 电 与 声 光 Vo1．23No I 2001年8月 PIEZOELECTRICS＆LACOUST00PTICS Aug．2001 文章编号 1004-2474(2001)04—0299—03 微波退火法低温制备多晶硅薄膜晶体管 饶 瑞 ，徐重阳 ，孙国才 ，曾祥斌 (1．华中科技大学 电子科学与技术系．武汉 430074；2 中国地质大学 材料科学与化学工程学院，武汉 430074) 摘 要 多晶硅薄膜晶体管以其独特的优点在液晶显示领域中有着重要位置，为了满足在普通玻璃村底上制 备多晶硅薄膜晶体管有源矩阵液晶显示器，低温制备(小于 600。c)高质量多晶硅薄膜已成为研究热点。文章利用 微波加热技术。采用非晶硅薄膜微波退火固相晶化法低温制备出多晶硅薄