AFPSTM图像分解方法及其数值模拟结果.pdf

2001年8月 中国工程科学 Aug．2001 丝!童丝!塑 兰呈墅望!呈生坠星墅丝垒呈呈 兰!!：!些呈：! ：攀；豢：一黉{j黛 AF／PSTM图像分解方法及其数值模拟结果 吴世法，潘 石，章 健，刘 伟，王景芝，黄玉起 (大连理工大学物理系，辽宁大连 116023) [摘要] 介绍1996年申请的一项发明专利——光纤尖“共振原子力／光子扫描隧道显微镜(AF／PSTM)”图 像分解方法。该方法用入射角以光纤尖轴线为7c对称的光束照明样品消假像，在AF／PSTM双功能弯光纤尖共 振频率条件下，采用等尖至样品平均间距(即等振幅)扫描或等光子隧道信息平均强度扫描两种模式成像，分 解样品光学图像和形貌图像。用最简单的PSTM两介质模型推导了近似的图像分解的解析表达式，最后用 PSTM四介质模型数值模拟结果说明了该方法是可行的和有效的。 [关键词】 AF／PSTM；PSTM消假像；PSTM图像分解；PSTM数值模拟 直于样品表面纵向共振颤动，丌对称光束全内反射 1 弯光纤尖共振“原子力／光子扫描 均匀照明样品，等光子隧道信息平均强度扫描或等 隧道显微镜”图像分解方法 尖至样品平均间距(即等振幅)扫描，在同一像点 同时采集近场相距两倍振幅光子隧道信息及其差值 “原子力／光子扫描隧道显微镜(AF／PSTM)” 图像分解方法属于扫描光学显微镜领域，特别涉及 图像和原子力样品形貌图像，用其消除假像和分解 光子扫描隧道显微镜。1990年美国发明超衍射极样品光学图像。 限分辨的光子扫描隧道显微镜(PSTM)…。 1991--1993年，我国也研制了这种第一代(A)为常量的共振，于样品表面近场共振颤动， PSTM[2]。它对样品平整度要求很苛刻，对不平整 扫描过程中在尖所指样品上同一采样点，同时采集 的样品表面不仅存在假像，且与样品形貌图像、光 学图像混合在一起，图像解释困难，难于推广，不 能商品化[3I。1993年作者申请第一个专利“光子 1 隧道扫描图像分解方法”(ZL930411．2)，于 为尖与样品表面平均间距，光子隧道信息平均强度 1999年7月获得中国专利局授予的发明专利权， 为 它用入射角以光纤尖轴线为丌对称光束照明样品解 (1) 决了消假像问题[40]。本文介绍第二个发明专利透明样品在兀对称双光束(或兀对称多光束)全内 1 (申请号：9611979．9)是在前一个专利的基础 反射照明下，要求扫描全视场为均匀，根据全内反 上提出的，可较方便地消除假像和分解样品的光学 与形貌图像。 wave，也称倏逝波)的电场振幅表示时可近似为 该方法的特征是用弯光纤尖在样品表面近场垂 [收稿日期】 2001—04—24；修回日期2001—06—12 [基金项目】 国家自然科学基金资助项目(6000701)；科学技术部和中国分析测试协会仪器功能开发基金资助项目(GN一99—15) [作者简介] 吴世法(1928一)，男，浙江东阳县人，大连理工大学教授，博士生导师 万方数据 中国工程科学 第3卷 E(Z，n1，0)=E(Z=0，n1，0)· exp[_z孥(弗in2日-1)∽]，