基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波器件.pdfVIP

下载本文档

14
0
约2.41万字
约 6页
2015-09-04 发布于湖北
举报
版权申诉

基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波器件.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波器件.pdf

第22卷第2期光学精密工程 V01．22NO．2 andPrecision 2014年2月 Optics Engineering Feb．2014 文章编号 1004—924X(2014)02—0346—05 基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波器件周剑1，何兴理1，金浩H，王德苗1，骆季奎1‘ (1．浙江大学信息与电子工程学系，浙江杭州310027； 2．英国博尔顿大学可再生能源和环境技术研究所，博尔顿BL35AB) 摘要：提出并制备了基于聚酰亚胺柔性衬底的声表面波(SAW)器件。在柔性聚酰亚胺衬底上低温反应磁控溅射沉积了 ZnO压电薄膜；采用X射线衍射仪，扫描电子显微镜，原子力显微镜等设备对ZnO薄膜进行了检测，结果表明：ZnO薄膜晶粒呈柱状生长并且(002)择优取向，膜粗糙度小于9nm，适合制作压电器件。在柔性衬底上制备了基于ZnO压电薄膜的SAW器件，该器件表现出良好的谐振性能。采用矢量网络分析仪检测器件的传输曲线，实验结果与仿真结果具有很 MHz，相速度为2144m／s，机电耦合系数为1．1％；当ZnO厚度增加时，此叠层结构的声表面器件的叠层声速也增加。关键词：柔性衬底；ZnO薄膜；压电薄膜；声表面波器件中图分类号：TN65；TN384文献标识码：A doi：10．3788／OPE0346 FlexibleZnOthinfilmSAWdeviceon substrate polyimide ZHOU Ha01一，WANGDe—mia01，LUO Jianl，HE Ji—kuil’2 Xing—lil，JIN ScienceElectronic 310027，China； (1．DepartmentofInformation Engieering，乃ejiangUnizersity，Hangzhou 2．InstituteRenewable Tech BL3 5ABU．K) of EnergyEnz4ronmentnology，BohonUnizersity，Bolton U．edu．cn *Corrcspondingauthor，E-mail：hjin@zj flexible substrateswere AcousticWave(SAW)deviceson Abstract：Surface polyimide developed． TheZnO were onaflexible substratelow reac— piezoelectriclayersdeposited polyimide by temperature the the tive werecharacterized magnetronsputtering，thenlayers by X—ray