GIF Tridiem能量过滤器在析出相观察中的应用.pdfVIP

维普资讯 第 2O卷第 3期 武汉工程职业技术学院学报 Vo1．20N O 3 JournalofWuhanEngineeringInstitute September2008 2008年9月 GIFTridiem能量过滤器在析出相观察中的应用 邓照军b 李平和 刘 静 (1．武汉钢铁(集团)公司研究院 湖北 武汉：430080； 2．武汉科技大学材治学院 湖北 武汉：430081) 摘 要 GIFTridiem能量过滤器是安装于透射 电子显微镜上的一个附件，该附件 的工作原理是 采集并分析穿透样品的电子能量损失谱，从而对材料微区的成分分布进行分析，以及对微区成分进 行定量分析。本文利用该附件对20~50nm细小第二相进行成分的面分布分析，并对析 出相进行 了定量分析。结果表明，能量过滤系统是细小微区成分分析的有力工具。 关键词 GIFTridiem能量过滤系统；析出相；元素分布；定量分析 中图分类号：TN16 文献标识码 ：A 文章编号：1671—3524(2008)03—0013—04 元素的定量结果。 1 前 言 本文介绍了能量过滤器在钢铁材料析出相研究 中的典型应用，并对试验结果进行了讨论分析。 电子能量损失谱 (EELS)的基本物理过程可以 描述为：当一束高能电子束照射至样品表面时，将样 2 试验材料与试验方法 品原子深层的某些电子击出其原来所处的壳层，转 移到原子内较高的空能级或电离。此时，这些电子 试验采用加入 了rri、V 的高强钢，以及含有 的总能量升高。而入射电子流中的一部分电子的能 Cu、Al成分的低碳钢。 量将相应降低，即发生了能量损失。将与样品相互 样品用萃取复型法将块状试样制成透射电镜样 作用后的电子按照能量大小收集起来，并按照能量 品，在JEM--2100F型透射电镜下进行析出相的观 损失值的大小将信号强度展示出来，就形成了电子 察。用 INCA能谱仪对析出相进行成分的点分析， 能量损失谱。对于与电子流发生相互作用的每一种 用 GIFTridiem能量过滤系统对析出相进行成分面 原子来说，有固定的特征能量损失值。因此，电子能 分布分析。 量损失谱可以用来进行元素分析。此外，电子能量 损失谱的谱形与原子的键合及价态有关，可被用来 3 试验结果与分析 分析元素的结构，及其在化合物中所处的状态等。 GIFTridiem能量过滤器是一种扇形的能量过 3．1 能量过滤器在析出相元素面分布图的应用 滤器，这种谱仪安装于透射电子显微镜照相室的下 图la中所示为含 Ti、V钢中析出相的衍衬像， 方。EELS的面分布分析方法称为能量过滤方法， 从形貌上看其为一个 50nm左右的不规则形态析出 它是通过只选择特定能量的电子形成电子显微像的 相。对于这样细小的颗粒，以往的成分分析方法是 方式来实现的。 能谱仪进行点分析，图2为图1a中析出相的能谱分 能量过滤器的能量分辨率为 1～2eV，而能谱仪 析结果。能谱分析表明该颗粒为含 Ti、V的析出 的能量分辨率为 130eV左右。所以，场发射透射电 相。 镜配上能量过滤器在获得高分辨图像的同时也可以 用能量过滤器对该颗粒进行成分的面分布分 对材料微小区域进行成分分析，尤其是可以得到轻 析 ：图1中b为析出相 中N元素的分布 ，C为Ti元 收稿 日期：2008-07-08 作者简介：邓照军(1975~)，男，博士在读．E-mail：d