基于微机电系统的纳米力学测量装置的研制.pdf

第33卷第4期 计 量 学 报 V01．33．№4 2012年7月 ACTAMETROLOGICASINICA July，2012 158．2012．04．04 doi：10．3969／j．issn．1000·1 基于微机电系统的纳米力学测量装置的研制 张志凯1， 滑晓欣2， 高 赛3， KonradHerrmann3 (1．浙江省计量科学研究院，浙江杭州310013；2．北京博电新力电气股份有限公司，北京100098； 3．德国联邦物理技术研究院，布伦瑞克D一38116，德国) 摘要：阐述了一种基于微机电系统的纳米力学测量方法和系统。开发了一种多功能的纳牛力致动器，可同时 满足微拉伸测试系统、原子力显微镜等系统的需要，该致动器基于微机电系统，以静电侧向梳齿为基本结构，采用 mN)，并介绍了该测试系统 变间隙设计结构，实现小芯片尺寸、低压驱动、高分辨率(nN量级)和大输出力(大于1 的原理、结构、微机电系统的安装以及一些相关实验结果。 关键词：计量学；微机电系统；纳牛力致动器；微牛／纳牛拉伸测试；原子力显微镜；静电侧向梳齿 中图分类号：TB93 文献标识码：A 文章编号：1000—1158(2012)04-0303-05 ofNanomechanicalMeasurement on Development System theBasisofMicroElectromechanical Systems ZHANG Herrmann3 Zhi．kail，HUAXiao．xin2，GaoSai3，KONRAD Instituteof 310013，China； (1．Zhejiang Metrology，Hangzhou，Zhejiang PonovoPower 2．Beijing Co．LTD，Beijing100098，China； Technisehe 3．PhysikalischeBundesanstalt，Braunschweig，D一38116，Germany) andtestofnanomechanicalmeasurementmethodsand onthebasisofMicro Abstract：Thedevelopment systems Electromechanical described．AMEMS—basednanoforceactuatoris is Oil Systems(MEMS)is presented，whichdeveloped thebasisofanelectrostaticlateral foruseinmaterialmicro／nanotensile andatomforce comb．drive．mainly testing ordertoincreasethe reduc