周期结构金属薄膜透射特性研究.pdfVIP

摘要 摘 要 表面被周期调制的金属薄膜即表面等离激元晶体具有增强透射效应，透射峰值远 大于孔径理论所得到的值。由于这种增强效应在亚波长光学、光电集成器件等方面的 应用，以及其潜在的丰富的物理机制成为当前光学领域的研究热点之一。 本论文系统地研究了周期结构金属薄膜在中红外波段的透射光学性质。特别是采 用了本研究组提出的镂空模板法(stencil mask)这一新型制备工艺。得益于这种制备 方法，本文对周期结构金属薄膜进行了较全面的研究，从实验上揭示了金属小孔阵列 的异常透过率增强现象。 论文的主要内容包括： 1. 介绍了高频结构仿真软件（High Frequency Structure Simulator，HFSS)， 利用该软件分析了不同孔阵形状对透射增强行为的影响，研究得出表面等离激元 （Surface Plasmon Polaritons, SPPs）在周期性微孔阵列金属薄膜透过率增强中起 主要作用。由于SPPs的参与，主透射峰位置主要取决于样品的周期。除了SPPs，微孔 中还存在局域表面等离子共振。 2. 采用了本研究组提出的镂空模板法这一制备工艺制备了大面积周期结构金属 薄膜，即先制作带有镂空图形的SU-8膜，然后将金属薄膜沉积在SU-8膜上。这种技术 的优点是方法简单、成本低，不需要操作复杂且昂贵的设备；可以制备大面积、高质 量的金属薄膜。通过透射光谱的测量，发现这种表面等离激元晶体具有特定波长的透 过率异常增强效应。采用实验结合仿真的方法研究发现在一个周期中包含两种孔阵结 构时，这种结构的透过率并不只是两种孔阵透过率曲线的简单叠加，而是存在耦合作 用。 关键词：周期结构金属薄膜，透过率增强，表面等离激元波，局域表面等离激元波 I Abstract Abstract Metal films with periodically structured surfaces (plasmonic crystals) exhibit optical properties such as extraordinary transmission. The peak transmittance is much greater than what is predicted by the standard aperture theory. It has become one of the most active research topics due to its potential applications in sub-wavelength optics and optical integrated devices as well as the rich physics behind the phenomenon. The optical transmission properties of periodically perforated metal films in the middle infrared wavelength have been studied in this thesis. In particular, a new fabrication technique, stencil mask method which was developed at our research group, was used to fabricate large-scale periodically perforated metal films. Benefit from the large-scale samples, the