基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究.pdf

高技术通讯2008年7月第18卷第7期 基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究① 李衍-E②江志斌张怀 (上海交通大学工业工程与物流工程系 上海200240) 摘 要 针对半导体晶圆制造系统(SWFS)调度中的多目标优化和目标时变性问题，提出 了一种时变多目标(TVMO)调度算法。基于模糊理论研究了时变模糊集合与多目标重要 程度的复杂非线性量化关系，进而研究了SWFS的优化调度方法。所提出的方法兼顾最 大产品交期率、最大生产移动量和瓶颈机台最大产能利用率三个目标，根据时变目标权重 计算出在制品的加工优先权序列号。大量的仿真实验数据证明，该调度算法能够改善系 统多个绩效目标，可为大规模复杂重入型制造系统的科学生产控制与调度提供有效支持。 关键词 半导体晶圆制造系统(SWFS)，时变多目标(TVMO)，生产计划与调度，模糊控制 和运行模式，利用模糊理论准确描述SWFS每天所 0 引言 有生产目标的权重，最终通过计算为SWFS中所有 晶圆在制品赋予一个唯一的加工优先权序列号，以 waferfabri． 半导体晶圆制造系统(semiconductor决定生产线上所有晶圆批次在每台设备上的加工顺 cation 序。 system，姗)是当今最为复杂的大批量、多品 种产品混合生产的制造系统之一，系统在从投料到 产生成品的整个加工过程中数次甚至数十次经过相 1 调度的多目标及其加权集成 同工艺的机器群组的加工，规模庞大，造价昂贵，其 生产调度一直是调度领域的热点问题¨’2J。对 1．1单一目标下的SWFS调度算法 SWFS调度问题的研究始于20世纪80年代后期，专1．1．1目标1：产品的最佳交期率(obj～OTD) 家学者相继提出各种不同的调度方法，如临界法则 本文提出的调度方法以产品的最佳交期率为指 标，来制定线上所有在制品的加工优先权次序，其计 (cR)…、负载调节算法(WR)…、基于约束理论的算 法(SDD)【2，3f，以及组合型派工策略(CDC)【4，5J等。 算公式如下： 虽然上述方法获得一定的优化效果，但未能较好地 QNIil：堕篇监 (1) 考虑SWFS调度中的两个重要特性：多目标优化 其中： ——追求诸如提高设备利用率、缩短生产周期及保 QNIil——以目标1最佳产品交货率为指标， 证按时交货等多种绩效目标的综合优化l铀j和目标 时变性——调度目标的重要程度随时(每季、每月、 晶圆批次i的加工顺序优先权系数； D正——晶圆批次i的交货日期； 每周)进行调整。针对这种情况，本文提出了一种时 变多目标(time—vaffable multiple．objectives，TVMO)调死榭一——本次计算的当前时间； 度算法以解决上述问题。鉴于人工智能的模糊理论 R正——本次计算时，晶圆批次i的剩余加工 是目前解决多目标决策复杂问题的有力工具之一， 时间； 并且模糊理论可用来研究时变模糊集合与多目标重 P，i1——以目标1最佳产品交货率为指标，每 要程度的复杂非线性量化关系，因此本文基于模糊 个晶圆批次的优先权序列号。 理论对SWFS的凋度算法进行研究。本文提出的算 此规则实际上是改进的临界比(criticalratio， 法为