退火温度对ZnO薄膜结构与发光性能的影响.pdfVIP

第 26 卷 　第 3 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol . 26 　No . 3 2005 年 3 月 　　 C H IN ESE J OU RNAL O F SEM ICONDU C TOR S 　　Mar . ,2005 退火温度对 ZnO 薄膜结构和发光性能的影响 温战华 　王 　立 　方文卿 　蒲 　勇 　罗小平 　郑畅达 　戴江南 　江风益 (南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心 , 南昌　330047) ( ) 摘要 : 采用常压金属有机物化学气相淀积法在 000 1 Al O 衬底上生长出高质量 ZnO 单晶膜 ,在空气中进行了 2 3 7 10～860 ℃不同温度的