面向对象典型微结构快速建模研究.pdf

摘要 摘要 MEMS器件开发包括从设计要求的提出、设计到产品的试生产和测试运行， 对其进行建模仿真得到整个系统的行为特征，能使得MEMS设计的一些错误和 不足在其设计的早期开发阶段就能发现。而MEMS仿真的关键是获取和构造合 适的MEMS系统模型。MEMS建模仿真融合了包括结构、电子、流体以及数学 和编程等多个学科的知识，对于不同物理场的共同仿真，方法之一是通过不同 物理场专用仿真器的耦合，通常仿真器的耦合采用互相调用以及交换数据文件 的方式，但是每一个仿真器对物理域的描述都使用了专门的语言和求解技术， 使得其结果和算法由一个物理域转到另一个非常困难，导致计算效率的降低。 如何实现在统一的建模环境下构建MEMS直观、精确、高效仿真模型一直是微 结构建模仿真的一大难题。 本论文以典型微结构为研究对象，为提高建模效率、缩短仿真时间，实现 MEMS器件模型的统一性，就典型微结构的建模方法展开了系统而深入的研究： (1)为解决微结构模型直观、描述方式兼容、动态性能解析的高精度要求， 提高微结构的建模效率以及计算速度，借鉴软件工程学面向对象开发技术，首 次提出了面向对象的微结构建模方法，对同种物理域组件以及