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春风化雨露产业基金如何为行业发展提速?--半导体设备产业的新星中微公司专访.pdf
业界风云 INDUSTRY TRENDS
春风化雨露
产业基金如何为行业发展提速?
——半导体设备产业的新星中微公司专访
■ 韩继国
[摘要] 中微半导体设备公司的核心团队在其领军人物尹志尧博士的带领下,在中国大陆创建中微半
导体设备公司,用了短短十年时间,开发了一系列微观加工关键的等离子体刻蚀和化学薄膜设备,
以独立自主的创新技术、极高的生产效率、明显的成本优势、一流的产品质量开始进入国内外众多
的先进半导体芯片生产线。随着《国家集成电路产业发展推进纲要》的发布,中微和全行业一起迎
来一个发展的新机遇。产业基金如果能以股本金、低息贷款和科研资助的方式三管齐下,势必可为
中国半导体行业的新一轮发展加快提速。
[关键词] 半导体 制造设备 刻蚀 薄膜
[中图分类号] TN305 [文献标识码] A [文章编号] 1674-2583(2014)08-0008-04
夕,我们有幸采访了尹志尧博士和他的核心团队。尹总
向我们回顾了中微走过的十年历程,并对中国半导体行
业的发展和政府产业政策寄予了殷切希望。
1 如何用好国家集成电路产业政策
中微公司
中国半导体行业要在未来10年、20年冲入世界三
董事长兼
强,首先要解决三个问题:首先要有资本运作的支持,
首席执行官
没有钱就不能做,但是钱只是个必要条件,不是充分条
尹志尧博士
件;第二也是更重要的是人,如果没有一流团队和一流
中微半导体设备有限公司在10年发展的历程当中, 人才,就是有钱也做不出好的产品;第三就是政策,政
国内外半导体的产业环境也在发生变化。中微董事长兼 策应该升级,从改革开放初期技术引进、来料加工阶段
首席执行官尹志尧博士和一批在国际半导体设备业界 升级到自主创新的阶段。有了这三条,就要集中全力,
长期工作过的资深技术专家和管理人员,在中国上海创 狠抓落实。对国家产业政策,希望在资金的搭配上有一
建中微半导体设备公司,中国人开始能自己制造高端的 个比例,不是所有的钱都以股本金投入,如果大家认为
半导体制造设备。两个原因促使尹博士等一批人回国创 所有的钱都是股本金投入,这也许是一个误解。应该有
业,一是很多留美华人看到中国经济的高速发展,希望 三种配比的资金,一个是长期低息贷款,一个是股本金
回国报效。另外还有亚洲和中国的教育是一种有纪律的 投入,还有一个是科研项目资助。这三项要有一定比
教育,这种教育培养出的人,有耐心做工艺制程非常繁 率,这样才能使公司有一个健康的财务状况,才能持续
杂的芯片。“美国的教育是一种每天都求变的模式,所 不断地健康发展。
谓创新型思维逻辑,不愿长期、耐心地、反复地做一件 选择被支持企业,其规模是重要的,首先要支持
事,一直到把事情做好。所以芯片做了20年以后,亚洲 芯片设计、芯片制造、半导体设备及材料和封装领域的
人超过了西方人,现在70%的芯片生产都在亚洲。这就 龙头企业。但更重要的是要看企业的发展潜力。这次的
是我们回来的原因。” 资金投入,都是要以商业运作的机制,需要投资的专家
近10年这个趋势愈来愈强,中国有望成为世界第一 来评定:第一,这个团队有没有一个清晰的战略,在未
经济体,特别是最近的2~3年,国家对半导体行业的战 来10年、20年不仅能成为国内在这个领域最强的企业,
略地位更加重视并大力发展。另外从芯片行业的发展角 也能成为世界领先的企业;第二,有没有一流的领军人
度看,国内外领先的芯片制造企业都会有大的发展,形 才,有没有国际一流的团队,有没有明确的策略和计
势对半导体设备厂商越来越有利。在中微成立十周年前 划,让投资者相信你可以
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