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第30卷第5期 宇 航 学 报 V01．30 No．5 of 2009 2009年9月 JournalAstronautles September 微机电光干涉陀螺分析 孙博华。张渤 (开普半岛理工大学，南非753500) 摘要：提出一种哥氏力原理与光纤干涉测量相结合的新型微光机电陀螺仪，以达到更高的角速度测量精 度。根据哥氏力原理微机电振动部分将输入角速度转换成为微型质量块的单轴简谐振动，再由高精度光纤干涉位 移读出系统对由转动所引起的振动位移进行测量，进而问接读出输入角速度。这里建赶的数学模型和推导m的公 式具有一般性，日丁用于各种小同的设计和结构，并且推导出角速度与光干涉输出光强之间的关系。光纤干涉读出 系统在位移测量精度E要优于电容式读出系统，『Iii且随着新型微型光源和光探测器的发明，光学系统L经具备和 现有微机电系统结合的可能性。 关键词：微机电；光干涉；微陀螺 中图分类号：U622 文献标识码：A 文章编号：1000—1328(2009)05—1925旬4 DoI：10．3873／j．issn．1000一1328．2009．05．030 陀螺仪具有更高的集成度，体积更小，重量轻、功耗 0引言 低、抗过载能力强等特点也是现代陀螺仪的一个重 陀螺仪的原理就是一个旋转物体的旋转轴所指 要的发展方向。但集成式的微机电振动陀螺受到探 的方向在不受外力影响时是不会改变的，然后用多 测器，例如电容，压电器，压阻器的限制，在精度上远 种方法读取轴所指示的方向，并自动将数据信号传 远不及光纤陀螺，只能应用于低端民用产品。光纤 给控制系统。人们根据这个道理，用它来保持方向， 陀螺虽然具有很高的测量精度，但由于受到塞格尼 制造出来的仪器就叫陀螺仪。现代陀螺仪是一种能 克(Sagnac)原理的限制需要多达几千米长的高保偏 够精确地确定运动物体的方位的仪器，它是现代航 光纤，制造上体积大造价高。 空，航海，航天和国防工业中广泛使用的一种惯性导 本文提出了一种应用哥氏力原理与光干涉微小 航仪器，它的发展对一个国家的工业，国防和其它高 距离测鼍技术相结合的微光机电陀螺。该系统在原 科技的发展具有十分重要的战略意义。传统的惯性 有微机电陀螺仪成功的结构上，用微光干涉测距系 陀螺仪主要是指机械式的陀螺仪，机械式的陀螺仪 统替代了差动电容式读出系统，从提高读出精度上 对工艺结构的要求很高，结构复杂，它的精度受到了 来改善现有微机电陀螺仪系统的测量精度。 很多方面的制约。 1 哥氏力原理及单轴角速度微振动结构 自从20世纪70年代以来，现代陀螺仪的发展 已经进入了一个全新的阶段。1976年提出了现代 微振动结构的设计依据是哥氏力(Coriolis 光纤陀螺仪的基本设想，到80年代以后，现代光纤 Force)原理。哥氏力原理描述了由角速度产生的出 陀螺仪就得到了非常迅速的发展，与此同时激光谐 现在角速度正交方向上力的关系¨。， 振陀螺仪也有了很大的发展。光纤陀螺仪具有结构 户。=2m(而×孝) (1) 紧凑、全固态部件、灵敏度高、工作可靠、抗电磁干扰 等号左边户，为哥氏力大小，右边为角速度和质量块 等优点，所以目前光纤陀螺仪在很多的领域已经完 线性运动速度的矢量积，当速度与角速度正交