溅射工艺对CuSiO2Ni80 Fe20复合结构丝形貌及磁性能影响.pdfVIP

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2015-09-07 发布于湖北
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溅射工艺对CuSiO2Ni80 Fe20复合结构丝形貌及磁性能影响.pdf

: / / 潘校齐等溅射工艺对 Cu SiO Ni Fe 复合结构丝形貌及磁性能影响 2 80 20 10095 文章编号: ( ) 1001-9731 2014 10-10095-03 溅射工艺对 / / 复合结构丝形貌及磁性能影响∗ Cu SiO Ni Fe 2 80 20 , , , , , , , 潘校齐李欣潘海林赵强阮建中嵇晓妍陈德禄赵振杰　　 ( , , ) 华东师范大学物理系纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心上海 200062 : , 。摘要利用射频磁控溅射方法在自旋的上制和溅射压强分别为和实验　　 Cu 70 200 W 0.8 0.65 Pa 备了 / 和 / / 两个系列复合结时在铜丝上先后沉积和薄膜, / Cu SiO Cu SiO Ni Fe SiO Ni Fe Cu 2 2 80 20 2 80 20 。、 / 。构丝利用扫描电镜阻抗分析仪分析了溅射 SiO 时 SiO Ni Fe 复合结构丝的截面图如图所示薄1 2 2 80 20 基底丝旋转速率对复合结构丝的表面微观结构和巨磁膜的厚度通过溅射时间来控制, 和的厚 SiO Ni Fe 2 80 20 。 , 。阻抗效应的影响实验结果表明镀层表面颗粒大小度分别为和 410 390 nm 随着制备时转速的增加先减小后增大, / SiO2 Cu / 复合结构丝的巨磁阻抗效应则随着转 SiO Ni Fe 2 80 20 速的增加先增大后减小。 : ; ; ; 关键词复合结构丝转速巨磁阻抗效应颗粒大