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热膨胀驱动型微阀的设计与制备.pdf
100 and 2012年第31卷第10期
传感器与微系统(TransducerMicmsystemTechnologies)
热膨胀驱动型微阀的设计与制备
吴元庆，姚素英
(天津大学电子信息工程学院，天津3∞072)
摘要：利用IntelliSuite软件对热膨胀驱动微阀进行结构分析设计，讨论了微加热器结构等因素对于微
阀的影响。利用su_8胶成型工艺制备了聚二甲基硅氧烷(PDMs)微阀所需要的模具。热膨胀驱动微阀
的制备过程分为：薄膜微加热器的金属淀积、阀腔的制备、弹性薄膜的制备和流体通道的制备四部分，详细
阐述了各部分的制备工艺流程和各层之间的改性键合工艺等。通过微加工工艺提高了微阀的性能。利用
蠕动泵作为流体驱动源，对微阀的性能进行验证，当阀腔驱动电压达到9V时，实现了微阀关闭。
关键词：微阀；键合；微电子机械系统
中图分类号：TN303 文献标识码：A 文章编号：1000_9787(2012)09．00100-03
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and 0lmlCr0-ValVedrlVen
JJeSlgnpreDaranon Dy
thermal
expansion
WU
Yuan—qing，YAOSu—ying
andInformation
ofElectronic
(School Engineering，TianjinUIliversity，Tianjin300072，China)
Stmcture and onthemal drivenmicm—valveisc删ed IntelliSuite
Abstract： analysisdesign expansion out，using
effectof asstmctureof iIlfluencesmicm—valveisdiscussed．The
software，andfactors，such micm—heater，which
modelforPDMsmicro—valveismade su—8 whole ofmicm—valve
using duemouldingpmcess．Thepmcess
as of of elastic
isdividedintofour metal thin一矗lm micro—valve
preparation pans deposit micm—heater，preparation
thinnlmandnuidnow fhbricationof andthe arestated．The
every technique
passage，and process Part bonding
ofmicro—valveis isusedas sourceo
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