128#215;128元InAsGaSb Ⅱ类超晶格红外焦平面探测器.pdfVIP

第31卷第6期 红外与毫米波学报 V01．31．No．6 2012年12月 Millim．Waves December．2012 J．Infrared 文章编号：100l一9014(2叭2)06一0501—04 128×128元InAs／GaSb II类超晶格红外焦平面探测器 许佳佳1，金巨鹏1’2，徐庆庆1，徐志成1”，靳川1”， 周 易1， 陈洪雷1， 林春1， 陈建新h， 何力1 (1．中国科学院红外成像材料与器件重点实验室，中国科学院上海技术物理研究所，上海200083； 2．中国科学院研究生院，北京100049) 摘要：报道了128×128元InAs／casb II类超晶格红外焦平面阵列探测器的研究成果．实验采用分子束外延技术在 Gasb衬底