标准cmos工艺在高速模拟电路和数模溷合电路中的应用展望.docVIP

标准CMOS工艺在高速模拟电路和数模混合电路中的应用展望 崔增文1，何山虎1 ，陈弘达2，毛陆虹2，高建玉 1 （1.兰州大学微电子研究所，甘肃 兰州 730000 ；2.中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室，北京 100083) 摘要：从速度、集成度、功耗和成本等几个方面深入的分析了利用标准CMOS工艺来设计开发高速模拟器件和混合处理芯片的现状及发展潜力。 关键词：CMOS工艺；特征频率 fT； 单片系统SoC；短距离并行光传输系统VSR；多项目晶圆MPW 中图分类号：TN432 文献标识码：A 文章编号：1003-353X(2003)04-0030-03 1 引言 21世纪的今天，信息产业已经成为世界经济的支柱产业。人们的生活日益离不开信息技术，甚至各国竞相将信息技术作为衡量一个国家发展的标志。 暴涨的信息量需要具有更高处理能力的数字处理器，导致了各大厂商竞相开发高性能的数字处理器。数字处理器部分处理能力的提高，对作为端口或模拟信号处理的模拟部分提出了更高的要求，例如：在光电子接口通信场合，从OC-48到新的OC- 192,要求有能够处理GHz以上信号的能力。 标准CMOS工艺技术在高速电路中的地位受到怀疑，各种新型工艺发展迅速。考虑到Si载流子的迁移率低，有些公司将目光投向化合物半导体（SiGe及Ⅲ/Ⅴ族的GaAs、InP等）；为了减少 Si衬底的损耗和降低器件尺寸的物理限制，另有一些公司对原有标准CMOS工艺做了革新，有新型的SOI（绝缘衬底硅）工艺、SOA（任意衬底硅）工艺；另外，目前大多数做DAC（数模转换器）的公司是利用BiCMOS（Bipolar-CMOS，双极和 CMOS混合工艺）来获得高速的。 芯片的速度，集成度、功耗、芯片的成本以及研发周期是决定一个公司选择工艺的重要方面，下面从这几个方面来阐述标准CMOS工艺在高速模拟、混合信号处理领域的发展潜力。 2 标准CMOS工艺在高速模拟、混合信号处理领域的发展优势 2.1 速度 深圳金百泽电子科技股份有限公司（）成立于1997年，是线路板行业十强企业，总部设在深圳，研发和生产分布在深圳、惠州和西安等地，为客户提供产品研发的PCB设计、PCB快速制造、SMT加工、组装与测试及硬件集成等垂直整合解决方案，是国内最具特色的电子制造服务提供商。电话：0755223