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高性能微细电铸的实验研究 25 高性能微细电铸的实验研究 ResearchonHigh——performanceMicro——electroforming 雷卫宁 。，朱 荻 ，李冬林 ，刘 浏 ，李仁兴 (1江苏技术师范学院机械工程学院， 江苏 常州 213001；2南京航空航天大学 机电学院，南京 210016) LEIW ei—ning 。。。，ZHU Di，LIDong—lin ，LIU Liu ，LIRen—xin (1SchoolofMechanicalEngineering，JiangsuTeachersUniversity ofTechnology，Changzhou213001，Jiangsu，China；2CollegeofM echanical EngineeringofNanjingUniversityofAeronautics Astronautics，Nanjing210016，China) 摘要 ：将纳米稀土 La。0 作为添加剂 ，研究其在微细电铸镍工艺过程l}】的影响。采用 SEM等现代分析手段对微细铸层 微观结构和性能进行_r测试。结果表 明：纳米 La!O。能够在阴极沉积表面发生特件 吸附，具有增大阴极极化 ，细化微细 电铸层品粒，扶得的微细铸层的 微硬度和耐磨性等力学性能 比普通电铸层有大幅度的提高。 关键词 ：微细电铸 ；纳米 I．a!()；极化曲线 ；性能 中图分类号 ：TG153．2 文献标识码 ：A 文章编号 2008)10—002504 Abstract：Theeffectoftherareearth nanoIa2O3addedtOthebasicsulfamatesolutiononmicro—elec— troformingprocesswasstudied．Thesurfacemicrostructureevolutionanditspropertiesofmicro—elec troforminglayerswereexaminedandanalyzedbyscanningelectronmicroscopy (SEM)andothertest— er．The results showed thatthecathodic polarization Ofthe microelectroforming processwasin— creasedduetOoccurringofD_ano—La!()3specialadsorption onelectrodesurface，whichcould resultin crystalrefiningofelectroforminglayer．M oreover，themechanicalpropertiesofm icro—electroforming layers，suchasmicro—hardnessandwearresistancecould beimprovedsubstantiallywith theaddition ofnano Ia2O3． Keywords：m icro—electroforming；nano—I，a103；polarizationcurve；property MEMS(MicroelectromechanicalSystems，微机 电 (平均粒径 40nm)，研究其对电铸液特性、微细铸层微 系统)是当今世界最为活跃的研究领域之一 ，有着重要 观结构 以及力学性能的影响，为进一步提高微细铸层 而广阔的应用前景。微 纳制造技术是MEMS技术 的 性能提供了实验依据 。 基础和核心 。 目前微细制造技术发展最快的是 I．IGA技