金刚石膜技术及应用.pdfVIP

维普资讯 第19卷 第4期 超 硬 材 料 工 程 Vo1．19 2007年 8月 SUPERHARD MATERIAL ENGINEERING Aug．2007 金刚石膜技术及应用① 唐存印，刘 燕，吕 智 (桂林矿产地质研究院，广西 桂林 541004) 摘 要 ：金刚石膜突破 了人造金刚石在尺寸上的限制，使金刚石的优异性能得到了充分的发挥，从而大幅 度拓展 了金刚石的应用领域。文章叙述 了金刚石膜及其发展历程，综述了其 日益繁多的制造技术以及在现 代技术中越来越广阔的应用，对我国金刚石膜技术应用中存在的问题及其发展前景提出了一些看法。 关键词 ：金刚石膜技术；类金刚石膜；综述；制造方法；发展前景 中图分类号：TQ164 文献标识码 ：A 文章编号 ：1673—1433(2007)04--OO33一O5 Diamondfilm technologyand itsapplication TANG Cun—yin，LIU Yan，LU Zhi (GuilinResearchInstituteofGeologyforMineralResources，GuangxiGuilin，541004，China) Abstract：Superiorperformanceofdiamondisfullybroughtoutbydiamondfilm becauseit is not limited in size as synthetic diamond usually does， therefore itwidened the applicationfieldofdiamondingreatextent．Diamondfilm anditsdevelopinghistoryare statedand thegradually diversified manufacturing technology ofthediamond film and increasingly widened use in modern technology is summarized in the paper． Some comments on the problems and developing trend concerned about the diamond film technologyinChinaaremadeflswel1． Keywords：diamond film technology；diamond—like film ；summary；growing method； developmenttrend 0 引言 无与伦比的硬度和耐磨损性、极高的抗压强度和弹性 模量、低的摩擦系数等，加上金刚石稳定的化学、物理 金刚石是一种具有多种优异性能的超硬材料 。在 性能，人们以此建立了传统的金刚石产业 。这一产业 以静压法为基础的所谓传统的金刚石行业中，它优异 以金刚石加工工具为主体，产品主要包括以锯片、绳 的力学和机械学的性能已经在今天的各行各业中得 锯、钻头等为代表的石材加工工具系列，以刀具、磨具 到了应用，并且取得了良好的使用效果。但是，其还有 为代表的金属机械加工工具系列