金刚石线锯切割设备现状分析.pdfVIP

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第 24卷 第 3期 超 硬 材 料 工 程 Vo1.24 2012年 6月 SUPERHARD MATERIAL ENGINEERING Jun.2012 金刚石线锯切割设备现状分析① 周世威 ,郑 超 ,刘 莹 ,王进保 ,苏 钰 ,程 煜h (1.中国有色桂林矿产地质研究院有限公司 ,广西 桂林 ,541004 2.国家特种矿物材料工程 技术研究中心。广西 桂林 5410041;3.广西超硬材料重点实验室,广西桂林 541004, 4.桂林理工大学材料科学与工程学 院,广西 桂林 541004) 摘 要 :随着光伏、半导体等高精端产业的发展 ,硬脆性材料 ,如晶体硅 、蓝宝石、特种陶瓷等材料 的切割加 工显得 尤为重要 。近年 来,世界各 国大力投入研 究开发 ,新 工艺 ,新 设备不 断涌现 。金 刚石 线锯切 割成为 研究和发展的主流趋势,文章介绍 国外切割设备研究的最新进展 以及 国内发展状况,分析其性能优势,展 望金 刚石线切割设 备应用前景。 关键词 :线切割设备 ;金 刚石线锯 ;综述 ;多线切割 ;金 刚石环线切割机 中图分类号 :TQ164 文献标识码 :A 文章编号 :1673—1433(2012)03—0049—04 ThestatusanalysiSofdiamond wiresaw cuttingequipment ZHOU Shi—wei· ,ZHENG Chao · 。LIU Ying‘, W ANGJin—bao·。 ,SU Yu,-一,CHENG Yu ·。· (1.ChinaNonferrousMetal(Guilin)GeologyandMiningCo.。Ltd.。Guilin。Guangxi541004,China; 2.NationalSpecialM ineralMaterialsEngineeringResearchCenter.Guilin,Guangxi541004.China; 3.GuangxiKeyLaboratoryofSuperhardMaterialResearchandDevelopment。Guilin-Guangxi541004-China; 4.CollegeofMaterialsScienceandEngineering,GuilinUniversityofTechnology。Guilin-Guangxi541004,China) Abstract:W iththehighprecisiondevelopmentofphotovoltaicindustryandsemiconductor industry-thecutting processing ofhard-brittlematerialsisbecoming moreand more importantsuchassinglecrystalsilicon。polycrystallinesilicon,preciousstones,ceramic etc.Intherecentyears。dueto thecountriesal1overtheworld devotetoresearch and develop the cutting equipment,the new technology and new equipment constantly emerge.And thediamondwiresaw cutting equipmentbecomethemainstream trendof

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