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2015-09-11 发布于江西
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机械法抛光加工金刚石膜研究.pdf

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维普资讯第 19卷第 1期超硬材料工程 Vo1．19 2007年 2月 SUPERHARD M ATERIAL ENGINEERING Feb．2007 机械法抛光加工金刚石膜研究① ． = 展慧 ’陈春林，王成勇 (1．广东工业大学机电工程学院，广东广州 510006；2．广州市盾建地下工程有限公司，广东广州 510030) 摘要：在平面研磨机上使用金刚石抛光盘对金刚石膜进行了抛光实验。通过观察金刚石膜机械抛光过程中表面形貌的变化，并结合拉曼光谱分析，提出了金刚石抛光盘抛光金刚石膜的抛光机理主要是微切削和压力破碎作用，同时还可能有少量金刚石转变为非晶碳的作用。通过单因素实验研究，发现金刚石盘的粒度对抛光金刚石膜材料去除率的影响最为显著。转速越高，表面粗糙度越小，压力和粒度存在最优值，超过该值后，表面粗糙度并不会随之降低。关键词：金刚石膜；抛光加工；机械法；表面粗糙度中图分类号：TG5；TQ164 文献标识码：A 文章编号：1673—1433(2007)01—0005--05 M echanicalpolishingofCVD diamondfilms YUAN Hui，CHEN Chun—lin。，W ANG Cheng—yong (1．GuangdongUnive~sityofTechnology，Guangzhou510006，China； 2．GuangzhouDunjianUndergroundConstructionEngineeringCo．Ltd．，Guangzhou510030，China) Abstract：ThemechanicalpolishingofCVD diamondfilm wascarriedoutwith diamond discs using plane grinding machine． It is proposed that the polishing mechanism of diamondfilm polishingbydiamonddiscsismostlymicro--cuttingandthebreakageunder mechanicalpressureaswellaspossibletransformation offew diamondsintoamorphous carbon，accordingtothesurfacemorphologicchangeofdiamondfilm duringtheprocessof mechanicalpolishingandcombinedwithRamanspectrum analysis．Itisprovedbysingle factorexperimentthattheparticle sizeofdiamond discaffectthepolishing efficiency considerably．Thehigherofrotat!ngspeed，thebettersurfacequalityis．Thereexiststhe optimalpressureand particle size for polishing．The surfaceroughnesswould notbe furtherreducedwhilethepressurI!andsizesurpassedtheoptimalvalues．