粗光栅信号全数字化处理法实现高倍数细分.pdfVIP

第15卷第2期 光学精密工程 V01．15No．2 andPrecision 2007年2月 ()ptics Engineering Feb．2007 文章编号 1004—924X(2007)02一0283—06 粗光栅信号全数字化处理法实现高倍数细分 罗 华，高 山，李翔龙 (四川大学制造科学与工程学院，四川成都610065) 摘要：针对在粗光栅软件细分中的信号误差影响细分数的问题，提出了按细分的主要误差来源分类进行数字滤波和补偿 的全数字化处理法，以达到粗光栅高精度测量的要求。首先对光栅测量信号进行有针对性的数字滤波，使其波形接近于 理想状态。然后根据误差来源进行数字补偿，通过对软件数字细分原理的分析，推导出了原始信号不正交、幅值不等、谐 波失真等误差影响细分结果的表达式，并提出了与此相对应的数字补偿方法。最后用软件细分法对测量信号进行高倍 数数字细分。滤波前后波形信号的仿真比较结果验证了基于严格线性相位的FIR数字带通滤波器可以有效地屏蔽光栅 信号频谱中的高低频干扰和噪声。研究结果表明，在粗光栅满足一定质量的前提下，利用全数字化处理法能够满足500 细分的精度要求。 关键词：粗光栅；细分；数字滤波；误差补偿 中图分类号：TH741．6 文献标识码：A Realizationof diVision of h蟾h numbercoarse method gratingsignalsbyfullydigitalprocessing LUO Hua，GAOShaJ】，I，I Xjang一10ng (Sc^ooZ Sfie行cPn咒d o厂Mn舶“。厂么cfMrP Abstract：Tomeetthe of measurementincoarse a requirementhighaccuracy gratingsystem，fully methodis consistsof error and digitalprocessing presented，whichdigitalfilter，digitalcompensation softwaresubdivision．Two aref订tered filterinorderto waveformsclosed digital signals bydigital get totheidealstateand thesoftwaresubdivision then， are byanalyzing digital theory，theexpressions how deducedto errorsinfluenceonthesubdivisionresult．Theerrorsinclude verify quadraturephase shift offsetsandthethird As