全熱交換器於半導體廠房之節能應用.pdfVIP

全熟交换器於半尊髅廒房之筋能虑用 TotalHeat inCleanrooms ExchangerEnergy—savingApplication 林毓凡 台湾网宏辰纥聊合技绵事耪所 摘要 台湾傈属高温高瀑之氯候，因而除瀑舆空稠等相阴科技在瑕境温瀑度控制估有很重要的地位。且台湾 现正朝向高精密，高附加儇值之虚檠遭逢，作檠瑕境要求精犟之牛溥髓檠、光鼋麈桨、精密裂造、通飘鼋 膦、裂檠檠等封低瀑度瑕境之要求棰属迫切，使得寻找更精良及更先连之除瀑技衍成属喾磅之急。本揄文 主要探讨全熟交换器於牛溥髓蔽房的虑用，将燕麈室横台排出之一般熟排氯舆MAU外氯空稠箱之引入外 氯作全熟交换，以回收燕麈室排出之冷能，可逵筋能减碳之效果。由寅隙廒内之逼蒋簖能监控资料分析， 全熟交换器臆用在MAU外氟之除瀑磋有售fi能之效益。 Wheel 明键字：全熟交换器、旋褥式除瀑输、HEATEXCHANGE、EnergyRecovery 1前言 ． 利用固憨吸附剂(solid desiccant)之吸附作用以做属除瀑膳勤力之空稠系航乃近年东在空稠能源工程虑 用上较具疆展之一项研究工作。一般工粱中可能遁用到此獯技衙的有鼋子零件工廒、蘖廒及食品工檠等， 尤其是有许多工廒本身具有大量之靡熟排橐至室外，如果能绚充分的利用此项能源，以做属此系统的熟源 (驱勤力)，燕疑的封台湾在能源上的分配，可以减轻甚大之麈力。 傅统式之除瀑系统乃利用鼋能疆勤厘稿横，以循瑕冷媒，而逵成冶郜之效果；此外蓝利用空氯中水蒸氯 遇冷而凝秸成水之原理，使空氯中之水分在通遇低温之蒸袭器後，燮属乾燥而降低其瀑度。此一系统在工 程上之遣用已久，其劣黠乃雁藕汽化冷媒所需之能量消耗太大，以致系统之COP受到限制，而不能大量 提舁其效率，尤其在外界空氯魔於高瀑度之状戆畴，此獯系统之性能将更加的受到其除瀑装置之限制，而 益加颢得不程滂。 2全熟交换器之介绍 现今我展中之固憋吸附割除瀑系统，大致可分属旋转式、固定式及填充床式三覆，而所使用之固憋吸 gej)。现在馑就此三倜系统之操作遇程，筒罩地介轺於下列： 附剖多属矽膨(silica (1)旋蒋式除漏系统 旋蒋式系统乃利用多孔性吸附剂以吸附外界空氯之水分，使其燮属乾燥，此吸附遇程属放熟现象。旋 蒋式除瀑输属此一系统之心曦，其形状由燕敷之蜂巢状管道而祖成，管道之内壁附上薄薄一屠固戆吸附剖， 程由除瀑翰之旋博，在某一畴同内，其一部分之正视面植用做吸附空氯中之水份，而另一部分则通遇再生 之熟空氯，用以除去吸附剂中所吸附的水份，如此而逵到整倜除瀑输的循瑗遇程。如圃l所示。旋转式除 瀑输之僵黠乃基髓由燕敷倜蜂巢状管道而租成，所以其在有限之髓稹中可以提供棰大之熟赁傅面稹，因此 外界潮瀑之空氯流通除瀑器後，可以程由吸附剖之物理吸附作用而燮得梗属乾燥。除瀑输本髓之裂造技衙 一直属研究鼗展上之障凝，在此同题中最重要之部分即属我展穗定壑固且合高量吸附剂之除瀑输，傅统之 装展上乃以吸附剂直接地黏覆於支持物上，然後裂成等高之管道形状，此獯裂造方法，一般而蓄，其吸附 剖在蒋翰中之穗定性及含量，均受到限制。不遇此黠程由近年东之努力已有突破之趱势，先逢之技衍乃利 用燕横檄稚混合矽膨以裂成一獯穗固寅髓秸棒之除瀑输，同峙此除瀑输之吸附剖含量之重量比可以超遇 70％。此檀混合寅髓式之裂造方法除了虑用於旋褥式系统外，亦径探用於固定式系统中之吸附剖之寅髓裂 造。 一138— g呤 D．．Iumidi厅■d Suppty Stream DownStream Up of Si